판매용 중고 TEGAL 901 / 903 #9285865

TEGAL 901/903 Asher/Etcher는 가장 강력하고 다양한 에칭/애싱 시스템 중 하나입니다. 건식 및 습식 공정을 모두 갖춘 초고속 처리량을 제공합니다. 이 장비는 고성능 공정 챔버, 고출력 무선 주파수 생성기 및 로봇 웨이퍼 처리 시스템으로 인해 3 인치 및 4 인치 웨이퍼를 빠른 속도로 에칭/애싱 할 수 있습니다. 이 장치의 공정 챔버 (process chamber) 는 내열성 세라믹 안감이있는 스테인레스 스틸로 만들어졌습니다. 챔버 내부에는 고출력 무선 주파수 발전기로 구동되는 에칭/애싱 전극 (etching/ashing electrrode) 어셈블리가 있습니다. 따라서 etching/ashing 매개변수를 고객의 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 가스 피드 머신 (gas feed machine) 은 공정 챔버에서 가스 부산물을 빠르고 효율적으로 제거하도록 보장합니다. 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 는 초당 최대 200mm의 이송 속도로 최대 5 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 또한 다양한 웨이퍼 크기 (정확도 0) 보다 균일성이 높아집니다. < sup > 2 </sup > mm. 로봇 메커니즘은 웨이퍼 (Wafer) 처리 자산에 대한 TCO (총 소유 비용) 가 가장 낮으며 운영 품질에 대한 가용성이 최대입니다. 웨이퍼는 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 에 배치되며, 이 홀더는 로드 스테이션에서 언로드 스테이션으로 공압 적으로 이동합니다. 선택 가능한 에치 레이트 (etch rate) 와 높은 처리량은 압력 펌프를 통해 균일 한 가스 분포를 제공하는 신뢰할 수있는 2 단계 전력 손실 모델에 의해 제공됩니다. 단색 플라즈마 생성기 (monochromatic plasma generator) 는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스에 중요한 매개 변수인 이온 에너지와 온도를 정확하게 제어합니다. 결과적으로 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로파일을 최대로 제어하여 최고 수준의 처리량과 최고 수준의 웨이퍼를 제공합니다. 901/903 Asher/Etcher는 안전, 유지 보수 및 신뢰성을 고려하여 설계되었습니다. 방화벽 (firewall) 과 스파크 억제 시스템 (spark suppression system) 을 통합하여 운영 및 유지 보수 과정에서 안전성을 보장합니다. 또한 고효율 냉각 장비 (Cooling Equipment) 와 장기 안정성 및 성능을 보장하기 위한 종합적인 예비 부품 (Spare Part) 및 부품 목록을 자랑합니다. 요약하면, TEGAL 901/903 Asher/Etcher는 효율적이고 신뢰할 수있는 에칭/애싱 시스템으로, 최대 제어 및 초고성능 생산 수율을 제공합니다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기로 작업하는 데 이상적인 선택이며, 매우 안정적이고 안전합니다.