판매용 중고 TEGAL 900e #9121969

테갈 900e (TEGAL 900e) 는 다양한 재료의 정확하고 정확한 에칭 또는 재싱을 가능하게하도록 설계된 혁신적인 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 고급 유연한 기술로, TEGAL 900 E는 단순한 단일 레이어에서 복잡한 하드 마스크, 금속 구조에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 최고의 정확성과 유연성을 제공합니다. 900e에는 포토 esist 노출을위한 고급 RF 소스를 갖춘 혁신적인 UPG (Ultra Plasma Generator) 가 장착되어 10 ~ 13.56MHz 범위에서 최대 22kW의 고효율 전력을 제공하며 제어 플라즈마 생성을 위해 제어 전자 장치와 일치합니다. 이것은 전통적인 에칭 및 애싱/증착을 모두 허용합니다. 이 시스템에는 통일성 엔지니어링 (Uniformity Engineering), 알고리즘 기반 최적화 (Algorithm-based optimization) 및 오류 감지 기술 (fault detection) 과 같은 혁신적인 자동화 프로세스가 포함되어 있어 최상의 에칭 및 애싱 결과를 보장합니다. 다른 재료 처리 요구를 수용하기 위해 다양한 가스 믹스 (gas mix) 와 압력 레벨 (pressure level) 을 지정할 수 있습니다. 900 E 장치에는 부품을 빠르고 쉽게 로드하고 언로드할 수 있는 통합 로드/잠금 메커니즘이 있습니다. 또한, 자체 포함 된 기계식 커튼이있는 모듈 식 구성 가능 셔터 머신 (shutter machine) 이 포함되어 있으며, 작동 중에 열린 대기에서 챔버를 분리하는 데 사용할 수 있습니다. 이 Shutter 툴은 안전성을 보장하며 자산을 완벽하게 자동화할 수 있도록 합니다. 이 모델에는 장비 모니터링 및 제어가 용이한 7 인치 디스플레이 화면 (7 인치) 이 포함 된 컨트롤 패널이 장착되어 있습니다. 또한 TEGAL 900e는 사이트 수준 컨트롤러 통합, 프로그램 매개 변수에 대한 외부 액세스 및 실시간 데이터 로깅 기능을 제공합니다. TEGAL 900 E 는 복잡한 디바이스 구조를 생성하기 위한 강력한 툴로서, 다양한 애플리케이션에 필요한 정확성, 반복성, 처리량을 제공합니다. 반도체, 의료, 기타 업계의 고품질 부품 생산을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.