판매용 중고 TEGAL 900e #3206
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ID: 3206
Cassette to Cassette Photoresist Strip/Backside Etching, 4"
Spatula wafer transport from cassette to cassette
Users are guided through programming and operation by menu-driven software and soft-keys via a built in display and an external terminal.
TEGAL 900e Asher/Etcher는 알루미늄 및 합금, 고온 금속 및 스테인리스 스틸 (stainless steel) 을 포함한 표면 금속의 에칭/재싱을위한 독특한 독립형 도구입니다. 테갈 900 E (TEGAL 900 E) 는 화학이없는 에칭 기술을 제공하여 사용자가 원하는 패턴과 구조를 매우 다양한 기판으로 빠르고, 쉽고, 정확하게 식각 할 수 있습니다. 900e에는 고급 다이오드 레이저, 정밀 패턴화를위한 XY 테이블, 통합 이미징 시스템 및 화학 재싱 O.가 있습니다. 또한 6 축 로봇 암을 사용하여 정확성과 용이성으로 기판을 위치하고 처리합니다. 화학이없는 에칭 공정은 쉽고 빠르고 정확한 패턴을 가능하게합니다. 또한, 엉망이없는 에칭 공정은 과거의 지저분한 화학 에칭 공정에 비해 화학 폐기물을 제거합니다. 또한, 900 E에는 다양한 소프트웨어 및 하드웨어 기능이 장착되어 있어 쉽고 효율적인 패턴화가 가능합니다. 이 소프트웨어 패키지에는 패턴화를 단순화하는 디자인 에디터 (design editor) 와 이미지 분석 프로그램 (image analysis program) 이 포함되어 있으며, 하드웨어는 기판 및 공구의 이동을 간단하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 테갈 900e (TEGAL 900e) 는 생산 라인 및 학술 응용 프로그램을위한 프로토 타입, 소형 부품 에칭, 미세 해상도 생산에 이상적입니다. 정밀한 패턴화가 필요한 모든 작업에 사용할 수 있으며, 공간 해상도는 최대 10 ½ m입니다. 또한, TEGAL 900 E는 최대 4mm 두께의 재료를 처리 할 수 있으며 알루미늄 및 합금, 고온 금속, 스테인리스 스틸 등 다양한 재질과 호환됩니다. 고도로 정밀한 다이오드 레이저 (Diode Laser), 통합 이미징 시스템, 화학이없는 프로세스, 정밀 패턴을위한 XY 테이블의 조합으로, 900e는 표면 금속의 에칭 및 재싱을위한 강력하고 효율적인 도구입니다. 빠르고, 조용하고, 안전한 에칭을 제공하며, 쉬운 설정과 패턴의 정확성을 제공합니다. 더욱이, 무화학적인 작동은 전통적인 에칭 프로세스의 비용과 혼란을 없애고, 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 이상적인 도구입니다.
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