판매용 중고 TEGAL 900e #293811528

TEGAL 900e는 TEGAL Corp.에서 개발 한 에처 (종종 asher) 입니다. 이 장비는 다양한 반도체 및 전자 재료를 위해 높은 처리량, 비용 효율적인 에칭을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 현대 회로 설계의 요구 사항을 충족하는 높은 에치 속도 (etch rate), 선 (line) 및 공백 너비 제어 (void width control) 및 서피스 마무리 (surface finish) 를 제공 할 수 있습니다. TEGAL 900 E는 에칭 프로세스의 모든 측면을 처리 할 수있는 완전 자동화 장치입니다. 여기에는 실시간 온도, 유속, 압력 및 농도 제어 시스템 (기계가 매우 정확하고, 일관되고, 효율적일 수 있음) 이 포함됩니다. 이 도구는 최대 10,000nm 깊이의 에치를 생성 할 수있는 빠른 플라즈마 기반, 저압 기술을 특징으로합니다. 이 기술은 또한 에치 비드 (edge bead) 제거의 필요성을 없애고 뛰어난 에치 균일성, 라인 에지 거친 (line edge roughness) 및 채널 하단 손상 제어를 제공합니다. 900e는 또한 에치 (etch) 공정을 더욱 향상시키기 위해 독특한 가스 조합을 활용하는 멀티 포트 가스 분사 자산 (multi-port gas injection asset) 을 특징으로합니다. 이 모델을 사용하면 에치 프로세스 (etch process) 에 대한 최적의 가스 유형을 선택할 수 있으며, 이를 통해 더 우수한 에치 결과를 얻을 수 있습니다. 장비는 사용 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 설치/프로세스 제어를 간소화하는 직관적인 설계로, 복잡한 사용자 설명서와 절차가 필요 없습니다 (영문). 또한 고급 진단 도구 (Advanced Diagnostics Tool) 를 사용하여 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치에는 다양한 에칭 (etching) 애플리케이션에 대한 프로세스 레시피를 만들고 수정할 수 있는 소프트웨어 제품군이 함께 제공됩니다. 전반적으로, 900 E는 효율적이고 정확하며 비용 효율적인 에칭 솔루션을 사용자에게 제공하는 고급 에처 (또는 애셔) 입니다. 고급 기술 (Advanced Technologies) 의 고유한 조합으로 뛰어난 에치 (etch) 결과를 제공할 수 있으며, 사용과 유지 관리가 비교적 쉽습니다.