판매용 중고 TEGAL 803 #9180201

TEGAL 803은 80 년대 TEGAL Devices, Inc.에서 개발 한 에처 및 애셔입니다. 중소형 전자 부품의 다양한 수준의 금속 (metal) 과 유전체 (dielectric) 생산 (production) 을 포함하여 집적 회로 개발에 사용하도록 설계되었습니다. 803은 박막 금속 및 유전체 구조를 형성하는 데 사용되는 고성능 에처이자 애셔였습니다. 패널 장착 디지털 디스플레이, 강력한 etcher 및 asher 엔진을 포함한 최첨단 구성 요소가 특징입니다. TEGAL 803에는 사용자가 프로세스를 정확하게 계획하고 실행할 수 있도록 설계된 다양한 기능이 있습니다. 애싱 속도는 0.01 단위로 0.1 ~ 5.0 와트에서 제어 할 수 있으며, 플라즈마 에칭 속도는 0.01 단위로 0.3 ~ 5.0 와트에서 설정 할 수 있습니다. 또한 Toe Pressure, Pressure Supported 및 Bubble Etching을 포함한 다양한 플라즈마 구동 기술을 지원할 수있는 고급 전원 공급 장치가있었습니다. 사용자 친화적 인 패널을 통해 집적 회로 설계자와 엔지니어는 압력, 전원, 프로세스 시퀀스 (pressure, power, process sequence) 와 같은 매개변수를 빠르고 쉽게 입력 및 조정할 수있었습니다. 803에는 고정밀 차동 압력 제어 (high-precision differential pressure control) 하위 시스템, 프로세스의 궤적을 제어 할 수있는 틸트 제어 기능, 전용 다중 가스 공급 및 제거 시스템 (multi-gas supply and purge system) 등 다양한 재료와 구성 요소가 장착되었습니다. 시스템의 컨트롤러가 패널에 통합되어 박막 (Thin-film) 구조의 정확하고 반복 가능한 에칭이 가능합니다. TEGAL 803은 또한 강력한 i-line 및 DUV 마스크 이미징 기능을 제공하는 인덱스 멀티 포켓 와이어 레벨 증착 기술을 통합했습니다. 803은 신뢰성이 높고 일관성을 유지하도록 설계되었습니다. 고급 ISO 9000 인증 자동 시퀀싱 및 자동 추적 기능을 통해 사용자는 정확한 균일 한 밀도 분포로 박막 구조를 빠르게 개발할 수있었습니다. 견고한 금속 증착 기능은 2 미크론 미만의 두께를 달성 할 수 있으며, 폭은 1 미크론만큼 좁습니다. 또한, 고급 ECR (전자 사이클로트론 공명) 처리를 통해 복잡한 에칭 구조에 대한 더 빠른 에칭 속도와 향상된 에지 컨버전스가 가능합니다. 간단히 말해서, TEGAL 803은 강력하고 신뢰할 수있는 에처였으며, 집적 회로 엔지니어들이 박막 금속 및 유전체 구조를 빠르고 정확하게 개발하도록 설계되었습니다. 고급 디지털 디스플레이 및 etcher/asher 엔진, 프로세스 매개 변수의 정확한 제어, 강력한 재료 및 구성 요소 선택이 특징입니다. 고성능 기능과 ISO 9000 인증 자동 시퀀싱 및 자동 추적 덕분에 803은 씬 필름 (Thin-film) 마이크로 스케일 전자 부품 개발을 지원하는 신뢰할 수있는 결과를 제공했습니다.