판매용 중고 TEGAL 803 #201078

TEGAL 803은 다양한 전문 프로세스를 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 이 특수 에칭 플랫폼은 복잡한 구조의 습식 에칭, 산화물 에칭, 높은 종횡비 광자 및 플라즈몬 미세 구조, 건식 에칭 등 다양한 프로세스에 이상적입니다. 이 기술적으로 첨단 장비는 전 세계 맞춤형 에치 및 애셔 시스템 공급업체인 테갈 코퍼레이션 (TEGAL Corporation) 을 통해 제공됩니다. 803에는 직경이 최대 8 인치 인 기판을 처리 할 수있는 수직 챔버 (vertical chamber) 디자인이 있습니다. 이 시스템에는 고유한 Etch Wizard II 제어 장치 (Etch Wizard II Control Unit) 가 장착되어 있어 에칭 및 방출 프로세스를 간단하고 직관적으로 제어할 수 있습니다. 또한 Etch Wizard II (Etch Wizard II) 를 사용하면 시스템과 원격으로 상호 작용하여 운영 및 유지 보수가 훨씬 쉽고 편리합니다. TEGAL 803은 또한 Touch Wizard와 DES (Digital Etch Selector) 의 두 가지 추가 제어 시스템을 제공합니다. DES 제어 도구를 사용하여 사용자는 에치 프로세스 매개변수 (예: 압력, 시간, 전원 등) 를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 803은 에칭 (etching) 및 방출 (emission) 프로세스를 최대화하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 에셋은 원하는 프로세스 매개변수에 따라 핫 (hot) 및 콜드 (cold) 기판 처리를 모두 지원할 수 있습니다. 또한, 산화물 및 금속 물질에 대한 습식 에치 공식 (wet etch formulas) 을 포함하여 광범위한 에칭 가스 및 에치 화학 물질을 지원할 수 있습니다. 또한 배출 처리 (emission process) 를 조정할 수 있으므로 배출 프로파일을 사용자 정의하여 프로세스를 최적화할 수 있습니다. TEGAL 803은 또한 고급 안전 기능을 자랑합니다. 특히, 이 모델에는 TEGAL Shield Leak Detection Equipment가 장착되어 있습니다. TEGAL Shield Leak Detection Equipment는 식각 중에 위험을 초래할 수있는 유해 가스를 빠르고 정확하게 감지하도록 설계되었습니다. 이 에 더하여, 이 "시스템 '은 또한 여러 가지 관성" 시스템' 을 갖추었는데, 이 "시스템 '은 잠재적 인" 가스' 누출 을 더욱 방지 하도록 설계 되었다. 803은 다양한 복잡한 구조물을 빠르고 정확하게 에칭 할 수있는 고급 에칭 플랫폼 (advanced etching platform) 입니다. 이 고급 에칭 플랫폼 (Advanced Etching Platform) 은 다양한 직관적이고 정확한 제어 시스템, 향상된 안전 기능에서 지원됩니다. TEGAL 803은 고유한 디자인, 고급 기능, 신뢰할 수 있는 성능으로, 특화된 에칭 프로세스에 이상적인 선택입니다.