판매용 중고 TEGAL 701 #9000653

TEGAL 701은 고해상도 마이크로 일렉트로닉스에 사용되는 에처/애셔입니다. 이것 은 "반도체 '기판 에서 원치 않는 물질 을 제거 하기 위한 강력 한 도구 이며, 흔히 선 하고 정밀 한 가장자리 로 훌륭 한" 패턴' 을 가져올 때 사용 된다. 이 장비는 고출력 레이저 소스 (laser source) 를 사용하여 집중된 광선 (beam of light) 을 만들어 기판으로 향합니다. 이 "빔 '은 화합물 을 기판 에 증착 시킨 다음, 물질 을 기화 시켜 작은" 홀' 즉 "마이크로에치 '무늬 를 만든다. 701에는 최대 1200mm 길이의 대형 기판을 수용하도록 설계된 광학 테이블 (optical table) 이 있습니다. 그것 은 0.3 "미터 '의 해상도 로 떨어져서" 에칭' 과정 을 정확 히 제어 할 수 있다. 이 기계는 완전히 자동화되어 있어 빠르고 신뢰성이 높은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 가능합니다. 또한 온도 조절 공정 챔버 (temperon-controlled process chamber) 를 특징으로하며, 주기 전반에 걸쳐 균일 한 온도를 유지하는 데 도움이되어 에치 공정의 재생성을 향상시킵니다. 또한 기판을 빠르고 쉽게 스캔 할 수있는 자동 초점 (autofocus) 옵션을 제공합니다. 이 시스템은 또한 호 모니터링 장치 (arc monitoring unit) 를 특징으로하며, 이는 에치 사이클의 시작과 끝에서 추적 전압 호를 측정합니다. 이 로 말미암아 기판 물질 이 "에치 '를 넘지 않게 되어 손상 의 위험 이 줄어든다. 이 기계는 또한 심층적 인 포스트 프로세스 분석 (post-process analysis) 을 허용하여 사용자에게 에치 프로세스에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 이 도구에는 TEGAL 701의 내부 소프트웨어 (프로세스를 모니터링하고 제어하는 데 사용할 수 있음) 도 포함되어 있습니다. 여기에는 매개 변수의 자동 조정이 포함되므로 사용자가 에치 (etch) 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 진단 (diagnostic) 기능을 제공하여 사용자가 신속하고 효과적으로 문제를 파악하고 해결할 수 있습니다. 701 etcher/asher는 연구 개발 부서에서 사용하도록 설계되었습니다. 전자제품, 의료제조, 자동차제조 등 다양한 업종의 표준에 맞춰 에치드 (etched) 기능을 생산하는 데 이상적이다. 고밀도 에칭 기능과 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control) 기능을 통해 복잡한 고품질 부품을 만드는 데 유용한 툴입니다.