판매용 중고 TEGAL 701 #293621577

테갈 701 (TEGAL 701) 은 제조업체가 비용 효율적인 에칭 및 애쉬 기판에 사용하는 고급 자동 에칭 및 애싱 기기입니다. 에치/애쉬 챔버, 고주파 생성기, 압력 컨트롤러 및 컴퓨터 제어 프로그래밍 가능한 시스템으로 구성됩니다. etch/ash 챔버에는 기판이 있으며 자동 컨베이어가 장착되어 있습니다. 8 개의 키 작동 자동 도어 잠금 장치가 있으며 운영자 보호를 제공합니다. 또한 etch/ash 작업 중 올바른 대기 및 프로세스 매개 변수를 보장합니다. 고주파 생성기 (High-Frequency Generator) 를 사용하면 Etcher/asher가 DC 또는 RF 전원으로 작동하고 정확한 매개변수와 적절한 조건을 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 701은 사용자 정의 가능한 전압 스위칭 기능을 갖추고 있으며, 전류 및 전압 출력에 대한 정확한 제어 가능 압력 컨트롤러 (Pressure Controller) 는 정밀한 모니터링 및 압력 제어 (Control of pressure) 를 가능하게 하며, 에치/애쉬 속도와 공정 시간을 정확하게 제어할 수 있으며, 기판의 과잉 에칭 및 손상을 방지합니다. 한편, 컴퓨터 제어 프로그래머블 (computer-controlled) 시스템은 사용자가 원하는 etch/ash 매개변수를 빠르고 쉽게 선택하고 프로세스를 추적하고 결과를 보고할 수 있는 사용자 친화적 인 인터페이스입니다. TEGAL 701은 작동 조절 가능한 디지털 터치 스크린 디스플레이 및 속도 제어를 통해 온도, 압력 및 에치/애쉬 사이클 설정에 대한 정확한 조정도 지원합니다. 701 etcher/asher도 에너지 효율성이 뛰어납니다. 소량의 반응성 가스 (reactive gas) 와 에너지 (energy) 만 사용하여 모든 유형의 기판을 처리하기위한 경제적으로 매력적인 가공 솔루션입니다. 또한 프로세스를 실시간으로 모니터링, 기록, 경고하는 보호자 안전 모니터링 시스템 (guardian safety monitoring system) 이 장착되어 있습니다. 테갈 701 (TEGAL 701) 은 효율적이고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 인라인 에칭 및 애싱 (ech-line etching and ashing) 기능을 통해 다양한 업계의 제조업체의 요구를 충족하는 고급 자동 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다.