판매용 중고 TEGAL 701 #293621568

TEGAL 701은 TEGAL Reliability Engineering에서 제조 한 에처 및 애셔입니다. 반도체 및 기타 소형 전자 부품의 정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 설계되었습니다. 701은 자동, 높은 처리량, 지속적인 로드, 프로그래밍 가능, 에칭 및 애싱 프로세스의 정확한 제어를 제공하는 고급 기기입니다. 내장 마이크로 프로세서는 소프트웨어 프로그래머블 논리, 사용자 정의 프로파일 온도 범위, 펄스 매개변수, 램핑/유지 시간을 제공합니다. 에처/애셔는 2 개의 난방 스테이션에서 6 개의 온도 범위와 9 개의 프로그래밍 가능한 레시피로 구성 할 수 있으며, 각 에치/애쉬 공정의 사용자 정의 프로파일링 및 미세 튜닝이 가능합니다. 2 개의 석영 텅스텐 할로겐 (QTH) 램프 난방 요소와 측정 가능한 온도 차이가 +/- 0.5 ° C인 정밀 온도 조절 메커니즘이 장착되어 있습니다. TEGAL 701은 인체 공학적 설계를 갖추고 있으며, 직관적이고 사용자에게 친숙한 GUI를 갖춘 7 인치 컬러 LCD 터치 스크린을 갖추고 있습니다. 또한 사용자는 포괄적인 데이터 로깅 및 오류 보고에 액세스할 수 있습니다. 또한 RS-232 포트를 통해 모든 프로세스 매개변수와 설정을 원격으로 구성할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 공정이 실패하고 산소 센서가 산소 수준이 낮아 에치/애쉬 (etch/ash) 결함 전에 경고를 제공하는 자동 가스 차단 시스템을 갖춘 고급 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 701에는 자동 마스크 제거, 기판 매핑, 예비 부품 (spare part) 탭 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 결론적으로, TEGAL 701 (TEGAL 701) 은 반도체 및 기타 소형 전자 부품의 효율적인 에칭 및 애쉬 (ashing) 에 대한 완벽한 기능을 제공하여 성능에 대한 높은 표준을 설정하는 신뢰할 수있는 에처 및 애셔입니다. 사용자 친화적 인 GUI, 정밀한 온도 조절, 자동화된 가스 차단 시스템, 종합적인 안전 기능으로, 정확하고 정확한 구성요소를 에칭, 매싱하는 데 적합합니다.