판매용 중고 TEGAL 701 #104111

TEGAL 701은 소형 웨이퍼 및 기판에서 마이크로 구조화를 위해 설계된 고해상도, 컴퓨터 제어 드라이 에처입니다. 광범위한 에칭 (etching) 프로세스를 처리할 수 있는 다목적 에칭 툴로, 리서치 (Research) 및 프로덕션 (Production) 애플리케이션 모두에 이상적인 솔루션입니다. 701 은 고급 소프트웨어 시스템 (advanced software system) 을 사용하여 etching 프로세스를 모니터링하므로 etching 매개변수를 사용자 정의하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 에처는 에치 속도, 기판 온도, 에치 각도, 가스 흐름을 제어하는 다양한 옵션을 제공합니다. 또한, 고급 APC (Automatic Pressure Control) 시스템은 사용 된 화학에 관계없이 챔버 내의 압력이 일정하게 유지되도록 보장합니다. TEGAL 701은 또한 자동 QCO (Quick Changeover) 기능을 제공하여 습식 에칭에서 건식 에칭으로, 다양한 에칭 프로세스 사이에서 매우 효율적이고 안전한 웨이퍼 전송을 지원합니다. 이렇게 하면 Etch 속도 안정성 향상을 위해 추가 시간을 소비하지 않고 일관되게 고품질 에칭 성능을 보장할 수 있습니다. 701은 또한 실리콘, 금속, 도자기, 반도체 재료 등 다양한 물질의 플라즈마 에칭에 대한 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 이 에처에는 특수 설계 된 열 플라즈마트론 (Thermal Plasmatron) 소스가 포함되어 있으며, 최소 플라즈마 손상으로 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 또한, 에처는 저농도, 비활성 가스 혼합물 및 고압, 순수 가스 에칭을 갖춘 저압 진공 에칭을 제공합니다. TEGAL 701은 또한 수직 해상도 250nm, 수평 해상도 75nm로 깊은 에칭을 수행 할 수 있습니다. 또한, 내장된 실시간 웨이퍼 추적 시스템 (real-time wafer tracking system) 을 통해 사용자가 에칭을 위해 웨이퍼를 정확하고 정확하게 배치할 수 있습니다. 전반적으로, 701은 다양한 에칭 프로세스에 대한 강력하고, 유연하며, 신뢰할 수있는 드라이 에처입니다. 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software), 자동화된 빠른 변경 (Quick Changeover) 및 고급 에칭 기능을 통해 리서치 및 운영 요구 사항을 모두 충족할 수 있습니다.