판매용 중고 TEGAL 701-03 #9097594

제조사
TEGAL
모델
701-03
ID: 9097594
웨이퍼 크기: 3"
Plasma etcher, 3".
TEGAL 701-03은 에치 실리 콘 웨이퍼와 얇은 필름을 에치/애쉬 실리콘하도록 설계된 고급 수성 에처/애셔입니다. 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 업계의 다양한 애플리케이션에서 사용할 수 있는 안정적이고 경제적인 솔루션입니다. 독특한 콜드 챔버 디자인으로 설계된 701-03은 최대 0.25um/초의 습식 에칭 속도와 최대 10um/초의 애싱 속도를 사용할 수 있습니다. 조정 가능한 속도 컨트롤러는 사용자가 에칭/애싱 속도를 수동으로 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있도록 합니다. 또한 지능형 프로세스 제어와 같은 고급 기술도 갖추고 있습니다. 이 기술은 제품의 품질을 일관되게 유지하기 위해 온도, 압력, 유량 (flow rate) 과 같은 에칭/애싱 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링합니다. 또한 자동화된 안전 (Safety) 기능을 통해 사고를 예방하고 사용자 및 웨이퍼를 손상시킬 수 있습니다. TEGAL 701-03은 컴팩트하고 매우 효율적입니다. 그것 은 효과적 인 증기 격리 장치 로 설계 되었는데, 이것 은 산성 "가스 '와 부식성" 가스' 가 방 을 빠져나가지 못하게 한다. 또한 스케일 (scale), 수신기, 배기 시스템 등 다른 시스템과 쉽게 통합되도록 구성되어 있습니다. 701-03은 환경 친화적이며 부식 내성 물질로 만들어졌습니다. 애셔는 또한 플루오르 수소 및 질산을 포함한 다양한 화학 물질과 함께 사용될 수있다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 모든 유형의 탱크 및 스프레이 건과 호환되며 사용자 정의를 위해 쉽게 구성 할 수 있습니다. 궁극적으로, TEGAL 701-03은 정밀도와 정확도가 필수 일 때 etcher/asher에 가장 적합한 선택입니다. 이 제품은 컴팩트한 디자인, 신뢰할 수 있는 기술, 고급 기능으로 비용 절감, 운영 효율성 향상, 탁월한 성능을 제공합니다.
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