판매용 중고 TEGAL 6540 #9267990

TEGAL 6540은 에칭 및 애싱 프로세스에서 속도와 정밀도를 모두 결합하는 최첨단 에처/애셔입니다. 다중 스테이션 설계를 통해 6540은 실리콘 카바이드, 실리콘 질화물, 니트로-몰리브덴 (NMO) 및 텅스텐을 포함한 다양한 재료의 에칭 및 애싱 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의 할 수 있습니다. 최상위 모델인 TEGAL 6540 은 다른 모델보다 더 높은 에칭 속도를 제공하여 보다 빠르고 효율적인 에칭/어싱 프로세스를 제공합니다. 6540은 또한 독특한 4 구역 챔버 레이아웃을 갖추고 있으며, 에칭 및 재싱에 빠르게 액세스 할 수 있습니다. 4 구역 챔버에는 2 개의 플라즈마 영역과 2 개의 반응성 가스 영역이 포함됩니다. 또한, ETGAL 6540은 에칭과 재싱을 동시에 처리하도록 조정 할 수 있습니다. 6540은 다양한 표면에 높은 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 속도를 제공하는 독특한 다중 축 구성의 완전 자동화 머신입니다. TEGAL 6540의 챔버는 4 개의 존으로 나뉘며, 각 존은 다른 에칭 및 애싱 효과를 생성 할 수 있습니다. 자동 (automated) 광 정렬 장비를 사용하여 6540은 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스의 불완전성을 자동으로 조정하여 고정밀 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, TEGAL 6540 은 여러 가지 청소제 를 사용 하여 방과 광학 "가스 '에서 파편 및 기타 오염 물질 을 제거 하는 자동 청소" 시스템' 을 갖추고 있다. 청소 장치 에는 또한 회전 암 (rotating arm) 기계 가 있는데, 이것 은 챔버 를 청소 하는 데 걸리는 시간 을 줄이는 데 도움 이 된다. 전반적으로, 6540은 다양한 재료를 에칭 및 세척하기위한 안정적이고, 효율적이며, 정확한 도구를 제공하는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 최첨단 디자인으로, TEGAL 6540은 다양한 에칭 및 애싱 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.