판매용 중고 TEGAL 6500 #9161990

TEGAL 6500
제조사
TEGAL
모델
6500
ID: 9161990
Dry etcher.
TEGAL 6500은 집적 회로 제조에 사용되는 화학 에칭 시스템입니다. 이 기계 는 "반도체 '제조 공정 의 핵심 부분 으로서, 회사 들 이 그 들 의 순회" 보드' 를 빠르고 효율적 으로 생산 할 수 있게 해 준다. 6500은 정밀도로 기판 재료에 회로를 에칭 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 기계는 복잡한 전도성 경로, 비아 (vias) 를 포함하여 매우 복잡한 전자 구조를 만드는 데 사용될 수 있습니다. 설계 요구에 따라 최대 100 미크론 (micron) 의 회선을 손쉽게 가져올 수 있으며, 더 크거나 작은 기능을 사용할 수 있습니다. 넓은 50x38 인치 작업 영역과 전체 공간에서 0.001 인치 해상도의 균일 한 에칭 능력을 갖추고 있습니다. TEGAL 6500은 다양한 유형의 기판을 위해 설계된 다양한 에찬을 사용하여 작동합니다. 여기에는 photoresist, thin-film 및 thick-film etchant가 포함됩니다. 감광제 에찬트 (photoresist etchants) 는 웨이퍼에서 원래 이미징 재료를 제거하는 데 사용되며, 얇고 두꺼운 필름 에찬트 (etchants) 는 작고 복잡한 전자 패턴을 기판 재료로 직접 가져올 수 있습니다. 이 기계는 또한 에칭 프로세스 (etching process) 동안 기판의 정확한 패턴 정렬 및 조작을위한 고급 로봇 공학을 특징으로합니다. 6500은 또한 가스 (gas), 온도 조절 (temperature control), 압력 트랜스듀서 (pressure transducer) 및 안전한 작업 환경을 만들기 위해 노출을 제한하는 폐쇄 된 푸메 후드 (closed fume hood) 와 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 프런트엔드 컨트롤은 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 Etch 프로세스를 손쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. TEGAL 6500은 강력하고 다재다능한 에처 (etcher) 이며 중대형 배치 볼륨에 적합합니다. 복잡한 회로를 생산하기 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 실시간 모니터링, 고급 로봇 (robotic) 기능, 안전 기능을 통해 모든 회로 기판 제작 요구 사항을 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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