판매용 중고 TEGAL 6500 / 6540 #165814
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판매
ID: 165814
빈티지: 2006
Dry etch system, 6"
Software
Main Software: Tegal Software Version 5.54
Operating System: DOS
Host Interface: Tegal 65** Gem/Secs Ii Version 1.9e
Human Interface
Main Interface: Vga Monitor (12vdc) With Touchscreen (Front)
Remote Interface: Vga Monitor (12vdc) With Touchscreen (Rear)
Additional Interface: Windows Compliant Keyboard
Signal Tower: Yes (Red, Amber And Green)
Process Module: PM1 / PM2 / PM3
Manufacturer: TEGAL / TEGAL / TEGAL
Function: PLASMA/RIE ETCH / PLASMA/RIE ETCH / PLASMA STRIPPER
Environment: VERY-LOW PRESSURE / VERY-LOW PRESSURE / LOW PRESSURE
Chamber: CAPACITIVE COUPLED / CAPACITIVE COUPLED / INDUCTIVE COUPLED
Chuck: ESC CHUCK / ESC CHUCK / CENTERING RING
Rough Pump: ALCATEL ADS602 / ALCATEL ADS602 / ALCATEL ADS602
Turbo Pump: VARIAN TV-1001 / VARIAN TV-1001 / NONE
Turbo Pump Controller: VARIAN TURBO-V 1000 ICE / VARIAN TURBO-V 1000 ICE / NONE
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1) / VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1) / VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1)
Baratron: MYKROLIS CMX100 (100mTORR) / MYKROLIS CMX100 (100mTORR) / MKS CAPACITANCE MANOMETER (1TORR)
Ion Gauge: EDWARDS ACTIVE GAUGE AIM-S-NW25 / EDWARDS ACTIVE GAUGE AIM-S-NW25 / NONE
Pressure Control: VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1) / VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1) / VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1)
Endpoint: DIODE ARRAY / DIODE ARRAY / DUAL DIODE
RF GENERATOR (Mhz) MKS OEM-12B / MKS OEM-12B / MKS OEM-12B
RF GENERATOR (Khz) ENI LPG-6ATM 1 / ENI LPG-6ATM 1 / NONE
Mfc 1 CF4 (50sccm) CF4 (50sccm) O2 (2000sccm)
Mfc 2 Cl2 (50sccm) Cl2 (50sccm) O2 (200sccm)
Mfc 3 NOT USED / HBr (50sccm) NOT USED / HBr (50sccm) N2 (200sccm)
Mfc 4 CHF3 (100sccm) / CHF3 (100sccm) / NONE
Mfc 5 Ar (50sccm) Ar (50sccm) NONE
Mfc 6 O2 (50sccm) O2 (50sccm) NONE
Wafer Backside: Flow He (5Torr UPC) He (5Torr UPC) NONE
Purge Gas: N2 / N2 / NONE
Vent Gas: N2 / N2
Temp. Control: HEAT EXCHANGER ON CHUCK AND UPPER WALL (80 DEG CELSIUS) / HEAT EXCHANGER ON CHUCK AND UPPER WALL (80 DEG CELSIUS) / CHUCK COIL HEATER (250 DEG CELSIUS)
Temp. Control Unit: NESLAB DUAL CHANNEL TCU / NESLAB DUAL CHANNEL TCU / THE SIXTH SENSE AI-100 TEMP. CONTROLLER
Rinser Module: PM4
Manufacturer: SEMITOOL
Function: SINGLE WAFER RINSER/DRIER
Environment: ATMOSPHERIC
Chamber: PTFE BOWL W/ PVDF LINED HEAD COVER
Chuck: PTFE FINGER CANTILEVER ON HEAD ROTOR
Rotor: STEPPER MOTOR W/ LC-1 MOTOR DRIVER
Rinser Head: LIFT AND ROTATE ASSEMBLY
Purge Gas: N2
Diw Temp: 80 DEGREES CELSIUS
Temp. Control: IN-LINE HEATER (PVDF HOUSING WITH PFA-JACKETED HEATING ELEMENT)
Temp. Control Unit: TEGAL DIW HEATER CONTROLLER
Pre-Aligner Module: PM5
Manufacturer: BROOKS AUTOMATION
Function: WAFER FLAT AND CENTER ALIGNER
Environment: VERY LOW PRESSURE
Chamber: ALUMINUM HOUSING MOUNTED TO CORE
Chuck: FORK WITH RUBBER PADS
Transfer Module: TM1 TM2
Manufacturer: ASYST ADE
Function: THETA AND RADIUS ROBOT ARM Z-AXIS, THETA AND RADIUS ROBOT ARM
Environment: VERY LOW PRESSURE ATMOSPHERIC
Controller: ASYST UTC-100A CONTROL SYSTEM ADE SERIES 350 ARM CONTROLLER
Chamber: MOUNTED INSIDE THE CORE CHAMBER MOUNTED ON THE ATMOSPHERIC PLATFORM
Modules Serviced: CM1, PM5, PM1, PM2 AND PM3 PM3, PM4 AND CM2
Casette Module: CM1 CM2
Manufacturer: TEGAL TEGAL
Function: SENDER RECIEVER
Environment: ATMOSPHERIC / VERY LOW PRESSURE ATMOSPHERIC
Chamber: ALUMINUM HOUSING MOUNTED TO THE CORE PLATFORM-TYPE
Elevator: YES / NO
Wafer Sensing: RETRO-REFLECTIVE SENSOR (INDIVIDUAL WAFER SENSING) RETRO-REFLECTIVE SENSOR (BLOCK SENSING AFTER CASETTE IS LOADED)
Vent Gas: N2 NONE
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X1 NONE
Miscellaneous: CORE
Manufacturer: TEGAL
Function: HEXAGON-SHAPED CORE CHAMBER
Environment: VERY-LOW PRESSURE
Chamber: ALUMINUM HOUSING WITH CLEAR ACRYLIC TOP COVER
Rough Pump: ALCATEL ADP122
Turbo Pump: VARIAN TV-301
Turbo Pump Controller: VARIAN TUBO-V 301 VAVIGATOR CONTROL UNIT
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (CORE X1 AND FORELINE X1)
Facility Requirements
Ac Power: YES WITH POWER TRANSFORMER (380Vac Secondary, 3φ, 75KVA)
Cda: YES
Diw: YES
Cooling Water: YES
Industrial City Water : YES
Warehoused
2006 vintage.
TEGAL 6500/6540은 고급 반도체 장치를 처리하도록 설계된 고급 에치 및 애셔 시스템입니다. 첨단 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장비는 최신 기술 향상을 활용하여 가장 안정적이고 높은 품질의 결과를 제공합니다. 6500/6540 etcher/asher는 수많은 기능을 갖춘 인상적인 기계로, 반도체 업계의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 시스템은 두 가지 프로세스가있는 고급 LPCVD 기술을 기반으로합니다. 재싱과 에칭. 따라서 두 프로세스를 동시에 처리할 수 있습니다. 이 장치는 또한 입자 오염을 줄이고 수율을 증가시키는 데 도움이되는 독특한 저압 애싱 모듈 (low-pressure ashing module) 을 갖추고 있습니다. TEGAL 6500/6540은 온도 조절 환경과 높은 신뢰성, 일관된 처리를 제공하는 고급 반응 챔버 (advanced reaction chamber) 를 갖추고 있습니다. LPCVD 기술은 가압 챔버 (pressurized chamber) 를 통해 최적의 환경을 제공하여 품질 부품을 생산합니다. 통합 비전 머신 (Integrated Vision Machine) 은 처리 결과와 반응을 모니터링하여 부품의 고품질 수준을 유지합니다. 이 툴은 수동 (manual) 및 자동 (automated) 처리를 위해 설계되어 다양한 프로세스와 애플리케이션에 매우 다양합니다. 자동 처리의 경우, 6500/6540은 발작 중 압력과 온도를 제어하고, 에칭을 제어합니다. 이 자산은 또한 정밀 모니터링, 진단, 통합 분석 기능을 제공하여 프로세스 성능을 보장합니다. TEGAL 6500/6540에는 고급 재료 처리 기능도 있습니다. 내장 로봇은 공정 최적화 (process optimization) 를 위해 부품을 가장 효율적인 순서로 전달합니다. 이 모델에는 고유한 컨베이어 (Conveyor) 장비가 장착되어 있어 제품을 빠르고 효율적으로 제공합니다. 6500/6540은 금속, 도자기, 반도체 및 플라스틱을 포함한 수많은 재료를 돌파하고 에칭 할 수 있습니다. 이 시스템은 ISO-CVD, OXCVD 및 MWBE를 포함한 다양한 화학 공정을 지원하도록 설계되었습니다. 또한이 장치는 안전 인터 록 (Safety Interlock), 비상 정지 (Emergency Stop) 및 폭발 방지 기능과 같은 안전 기능을 통합했습니다. TEGAL 6500/6540은 다양한 어플리케이션에서 일관성과 고품질 결과를 제공합니다. 고급 애싱 (ashing) 및 에칭 (etching) 기능을 통해 기계는 안정적인 프로세싱과 일관되게 높은 품질의 결과를 제공합니다. 이 툴은 또한 다양한 고급 기능 (advanced features) 과 통합 기능 (integrated capability) 을 제공하여 다양한 생산 용량에 이상적인 에처/애셔 (etcher/asher) 가 됩니다.
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