판매용 중고 TEGAL 6000 #293616018

TEGAL 6000은 신뢰할 수있는 photolithographic 프로세스를 사용하여 IC (integrated circuit) 마스크 생산을 위해 특별히 설계된 etcher/asher입니다. 즉, 고객의 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 완전 자동화, 사용자 친화적, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 장비는 넓은 시야와 매우 견고한 구조로, 높은 반복성, 정확한 정렬, 장기적인 안정성을 보장합니다. 또한 건조 및 습식 시스템 모두를위한 최신 레이저 정렬 및 마스크 생성 시스템 (mask generation system) 을 갖추고 있습니다. 6000 은 소형 기판 과 대형 기판 을 모두 처리 할 수 있는데, 크기 는 최대 30 "인치 '이다. 최대 깊이 5 미크론으로 10 미크론까지 해상도를 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 고속 정밀 x-y 테이블을 사용하여 단계 및 반복 작업을 수행할 수 있습니다. 이 기능은 대용량 작업이 필요한 환경에 적합합니다. 또한, TEGAL 6000은 우수한 감도와 건조 및 습식 레이어를 웨이퍼에 에칭하는 다양한 조절 기능을 제공합니다. 안전 (Safety) 기능 측면에서 볼 때, 6000은 모니터링 된 분위기를 가지고 있으며, 에칭 프로세스 동안 생성 된 유해 부산물을 모니터링할 수 있습니다. 또한 CCE (Closed Chamber Environment) 는 작업 영역이 항상 깨끗하고 격리되어 오염 위험을 줄여줍니다. 운영 측면에서 TEGAL 6000은 쉽고 간단합니다. 사용자 인터페이스는 간단한 그래픽 메뉴 시스템과 내장 진단 및 문제 해결 (Troubleshooting) 메뉴를 제공합니다. 크고 밝은 백라이트 LCD 화면은 사용자에게 필요한 모든 정보를 제공합니다. 다양한 컨트롤 탑, 다이얼 및 스위치도 손쉽게 작동할 수 있습니다. 6000 은 매우 유용하고 신뢰할 수 있는 etcher/asher 로서, 대용량 및 저용량 (low-volume) 생산 요구를 모두 충족하는 경제적인 솔루션입니다. 10 "미크론 '정도 의 해상도 와 5" 미크론' 의 최대 깊이 로 큰 기판 과 작은 기판 을 모두 처리 하는 능력 은 훌륭 한 "에칭 '결과 를 가져온다. 온보드 진단, 자동 마스크 생성 시스템, 고성능 TEGAL 6000은 IC 생산 요구에 적합합니다.