판매용 중고 TEGAL 515 #293655082
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TEGAL 515는 전자 제품 제조 산업의 다양한 프로세스에 사용되는 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. Si, SiO2, SiN, WSi2, 금속 합금 및 기타 전도성 및 비 전도성 재료와 같은 다양한 재료에 대한 증착 및 에칭 기능을 제공합니다. 515는 대용량 생산 프로세스를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 효율적인 처리를 용이하게하는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 고속 증착 및 에치 레이트가 포함되어 있어 처리량이 최적화됩니다. 압력, 온도 및 가스 흐름과 같은 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어합니다. 모든 매개 변수를 실시간으로 모니터링하는 고급 제어 장비. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 프로세스 유연성을 제공하며, 다양한 에찬 (etchant) 가스를 사용할 수있는 기능과 더 복잡한 프로세스에 대해 2 개 이상의 혼합을 제공합니다. 또한 정밀 자동 웨이퍼 (Automatic Wafer) 처리 시스템 (Etching Tool) 과 관련하여 웨이퍼 위치를 정확하게 제어 할 수있는 특허 출원 중인 벡터 장치 (Vector Unit) 와 고밀도 벨로우 펌프 (Bellows Pump) 를 통해 증착 중 최적의 압력을 유지할 수 있습니다. TEGAL 515에는 사용자 친화적 인 경험을 위해 다양한 다른 기능도 제공됩니다. 여기에는 직관적인 운영자 GUI 화면, 사용하기 쉬운 프로세스 레시피, 문제 해결을 위한 내장 진단, 최적의 프로세스 설정을 위한 다중 레시피 등이 포함됩니다. 또한, 사용자는 각기 다른 레시피 (recipe) 와 프로세스 매개변수 (parameter) 에 맞게 시스템을 구성하여 특정 요구에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 요약하자면, 515 는 다양한 재료의 안정적이고 정밀한 증착과 에칭을 위해 설계된 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 빠른 증착 및 에치 요율을 제공합니다. 프로세스 매개 변수의 정확한 제어; 강력한 제어 도구; 에친트 가스의 유연한 사용; 정확한 웨이퍼 처리; 문제 없는 작동을 위한 사용자에게 친숙한 기능.
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