판매용 중고 TEGAL 415 #9187146

TEGAL 415는 TEGAL Corporation에서 개발 한 자동 애셔입니다. 웨이퍼 다이 클리닝, 에칭 및 박막 증착 프로세스를 제공하는 풀 사이즈 독립형 장비입니다. 415 는 신뢰성 있고 효율적이며 비용 효율적인 시스템으로, 반도체 제작, MEMS, 옵토일렉트로닉 (optoelectronic) 장치 등 다양한 애플리케이션에 적합한 것으로 입증되었습니다. 테갈 415 (TEGAL 415) 는 직경이 최대 200mm인 기판을 처리 할 수있는 자동화 된 로봇 작업셀로 구성됩니다. 이 장치에는 로딩 스테이션 (loading station) 이 장착되어 있으며, 여기서 기판은 기계에 먼저 적재 된 다음 에칭 (etching) 및 박막 증착 플랫폼에 자동으로 배치됩니다. 이 도구에는 통합 컨트롤러 (Integrated Controller) 가 장착되어 있어 전체 프로세스에 대한 정확한 제어가 가능하며, 각 기판을 일관되게 처리할 수 있습니다. 415에는 2 개의 독립적 인 에칭 챔버가 있습니다. 첫 번째 챔버는 다이 클리닝 및 이미지 에칭에 최적화되어 있으며, 두 번째 챔버는 부식, 산화물 제거 및 스루 웨이퍼 에칭에 최적화되어 있습니다. 에칭 챔버는 온도 및 압력 조절이며, 프로세스 크리티컬 균일성, 반복 가능성 및 정확성을 달성 할 수 있습니다. TEGAL 415에는 박막 증착 플랫폼도 포함되어 있습니다. 이 플랫폼은 표면 거칠기가 낮은 안정성이 높은 레이어를 생산할 수 있습니다. 로터리 및 선형 모션 스테이지와 기판 코팅을위한 2 개의 별도의 e- 빔 소스가 장착되어 있습니다. 자산은 또한 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있으며, 이는 생산 규모 연구에 탁월한 선택입니다. 전반적으로 415는 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 asher/etcher입니다. 반도체 제작, MEMS, 광전자 (optoelectronic) 장치 등 다양한 응용프로그램을 다룰 수 있다. 고급 컨트롤러는 각 기판 처리에서 정확성과 반복 성을 보장합니다. 그리고 2 개의 독립적 인 에칭 챔버 (eching chamber) 와 박막 증착 플랫폼은 안정적이고 일관된 결과를 낼 수 있습니다. 모든 반도체 생산 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.