판매용 중고 TEGAL 415 #9143547

TEGAL 415는 etcher/asher입니다. 이 제품은 반도체 업계의 응용프로그램을 위해 특별히 설계되었으며, 매우 정확한 빔 (beam) 전달 시스템을 통해 향상된 성능을 제공합니다. 415 는 직경 8 인치, 각도 웨이퍼 등 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 다룰 수 있는 완전 자동화된 장비다. 즉, 처리 속도와 정확도를 극대화하는 동시에, 안전한 환경을 보장할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 빔 배송을위한 고급 광학 시스템이 있습니다. 여기에는 전체 웨이퍼 표면에 고정밀도 빔 프로파일을 전달할 수있는 등방성 빔 균질화 장치 (isotropic beam homogenization unit) 가 포함되어 있어 균일 한 에칭을 보장합니다. 빔 스팟 크기와 발산은 ± 1% 의 정확도로 유지되어 최적의 에칭 성능을 보장합니다. 이 기계는 또한 에칭 프로세스를 효과적으로 제어하기 위해 완전 자동화 된 엔드 포인트 감지 도구 (End Point Detection Tool) 를 갖추고 있습니다. 종점 탐지 센서 (end point detection sensor) 는 에칭 된 웨이퍼 표면의 광도 프로파일을 측정하여 정확한 에칭 측정 값을 제공합니다. 에셋은 수동 (manual) 또는 자동 (automated) 모드로 작동하여 운영자가 빠르고 쉽게 에칭 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 모델의 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 이용하면 숙련되지 않은 사용자에게도 장비가 직관적으로 작동합니다. 이 시스템은 온도 안정성을 유지하고 열 손상을 제거 할 수있는 강력한 냉각 장치 (cooling unit) 를 갖추고 있습니다. 테갈 415 (TEGAL 415) 는 또한 열리면 즉시 기계를 종료하는 커버 연동 안전 스위치 (Cover Interlock Safety Switch) 를 포함하여 고급 안전 조치를 통합합니다. 요약하면, 415는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 매우 정확한 etcher/asher입니다. 정밀한 빔 전달 (beam delivery) 을 제공하여 전체 웨이퍼 표면에서 균일 한 에칭을 달성 할 수 있습니다. 종단점 감지 도구 (End Point Detection Tool) 를 사용하면 에칭 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 사용자 친화적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. TEGAL 415 (TEGAL 415) 의 강력한 냉각 자산과 첨단 안전 측정 (Safety Measure) 은 사용자에게 안전한 환경, 반도체 업계에서 기대되는 매우 정확한 에칭 성능을 보장합니다.