판매용 중고 TEGAL 411 #9003951

TEGAL 411은 대규모 생산 작업을 위해 특별히 설계된 고급 etcher/asher입니다. 이 제품은 효율성이 높고, 정밀하며, 처리량이 높은 플랫폼을 통해 수많은 웨이퍼를 한 번에 처리할 수 있습니다. 기판에 대한 우수한 웨이퍼 접착력을 제공하여 수동 테이프 (manual tape) 정렬이 필요하지 않습니다. 고밀도 빔 제너레이터 (beam generator) 를 장착하여 에치 깊이 및 정렬에 대한 제어 및 정확도를 향상시킵니다. 411은 초고속 비접촉 사진 촬영 기반 이미징 장비를 사용합니다. 이 시스템은 레이저를 사용하여 패턴 용지 (pattern paper) 또는 마스터 복사본 (master copy) 을 대상 기판으로 직접 전송합니다. 이 장치는 대용량, 고품질 생산용으로 설계되었으며 빠른 처리 시간 (turnaround time) 을 제공하며 반복 가능한 에칭 프로세스에 적합합니다. "에처 '는 더 깨끗 하고 보다 효율적 인" 에칭' 을 하는 고급 진공기 로 만들어졌다. 통합 진공 공구 에는 모든 기판 에 이상적 인 환경 을 보장 하기 위하여 조정 가능 한 가압 "챔버 '가 있다. 또한, 표적 기판에 대한 기질의 균일 한 식각 온도 및 접착을 보장하기위한 이중 열전 냉각 플랫폼 (dual thermoelectric cooling platform) 이 특징이다. TEGAL 411에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 제공되어 운영자가 에칭 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 다양한 PC 소프트웨어 패키지와 호환되며, 사용자는 이 프로세스를 정확하고 정확하게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 411은 온라인 모니터링 기능을 제공하여 운영자가 데스크탑이나 노트북의 에칭 (etching) 작업 진행을 면밀히 주시할 수 있습니다. 또한 운영자는 작업 완료 또는 기타 조정에 대한 e-메일 경고를 설정할 수 있습니다. 무엇보다도 TEGAL 411은 업계에서 가장 정교한 에처 중 하나입니다. 대용량 생산 작업을 위해 특별히 설계되었으며, 이는 모든 에칭 응용 프로그램에 이상적입니다. 첨단 자산은 기판에 우수한 접착력을 제공하여 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공합니다.