판매용 중고 SAMCO PC-1000 #9292551

SAMCO PC-1000 etcher/asher는 photolithography 프로세스에 사용되는 매우 기능적인 장비입니다. 이 도구는 회로 기판 및 기타 기판에서 포토레스 소재 (photoresist material) 의 고정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계되었습니다. PC-1000은 적외선 (IR) 빛으로 가열되고 조사 된 반응성 가스로 채워진 반응 챔버를 사용하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 동안 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 공정 은 기판 이나 "샘플 '을" 챔버' 에 넣은 다음, 챔버 '뚜껑을 닫고 기계 를 활성화 시킴 으로써 시작 된다. 일단 활성화 되면, 그 과정 은 반응 "가스 '의 가열 과 반응성" 가스' 의 도입 으로 시작 된다. 이 가스는 일반적으로 산소와 CF4와 같은 플루오린 함유 화합물의 조합입니다. 그런 다음, 기계 는 "가스 '를 원하는 온도 로 가열 시키기 위하여 제어량 의" 레이저' 동력 을 "챔버 '에 공급 한다. 결과는 플라즈마 공구 프로세스입니다. 이 과정은 매우 정확하며, 0.5 내지 10mm 두께의 기질에서 포토 esist 물질을 에칭 또는 애셔하는 데 사용될 수있다. SAMCO PC-1000은 최소 2 m 깊이의 기능 패턴으로 최대 1: 50의 종횡비를 생성 할 수 있습니다. 그 결과 생기는 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 패턴은 챔버 내부의 고도로 통제 된 환경으로 인해 매우 정확합니다. 또한 PC-1000은 정밀도 에치 (precision etch) 및 애싱 (ashing) 기능 외에도 기판 온도, 챔버 압력 및 기타 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 통합 소프트웨어를 사용하면 운영자가 작업 스테이션의 제어 (control), 에치 (etch) 매개변수 및 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어는 매핑 (mapping) 기능을 제공하여 사용자가 비트 맵 이미지를 etch 패턴으로 변환할 수 있습니다. 삼코 PC-1000 (SAMCO PC-1000) 은 회로 기판 및 기타 기판에서 포토 esist 물질의 고정밀 에칭 및 재싱에 사용되는 신뢰할 수있는 도구입니다. 통합 소프트웨어와 결합된 챔버 (chamber) 내부의 매우 정확한 환경은 포토레시스트 에칭 (photoresist etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스에서 이전에 달성 할 수없는 정확성과 정밀도를 달성 할 수있는 기능을 제공합니다. PC-1000 (PC-1000) 은 사진 리스토그래피 프로젝트에 이상적인 선택으로, 사진 저항재 (Photo Resist Materials) 의 에칭 및 재싱을위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 방법을 제공합니다.