판매용 중고 LAM RESEARCH 4400B #9145836

제조사
LAM RESEARCH
모델
4400B
ID: 9145836
웨이퍼 크기: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH 4400B는 다양한 산업 응용 분야에 대한 고정밀 에처 및 애셔입니다. 이 강력한 툴은 빠른 에치 속도, 고수율 (high-yelding process performance), 내구성 있는 서비스 수명 (service life) 을 제공하는 최신 에칭 및 애싱 기술을 제공합니다. 4400B는 동시에 실행할 수있는 두 개의 독립적 인 에칭 및 애싱 프로세스를 사용합니다. 첫 번째 공정은 아크 챔버 (arc chamber) 에서 생성된 플라즈마 (plasma) 를 사용하여 대상 재료에 에치 패턴을 생성합니다. 두 번째 프로세스는 시간 (timed) 반응성 (reactive) 프로세스를 사용하여 재료를 원하는 두께에 맞출 수 있습니다. 애싱 (ashing) 과정 동안, 재료는 챔버 외부에 퇴적되며, 여기서 퇴적율은 균일 한 에칭을 보장하기 위해 단단히 조절된다. 이 기계는 균일 한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 통해 시편의 반복성을 보장하며, 견고한 음극 구동 회로를 사용하여 원하는 전류 수준을 각 셀에 전달합니다. 이 균일성은 온보드 컴퓨터를 통해 조정 및 모니터링 할 수 있습니다. 데이터 수집 (Data Acquisition) 및 프로세스 모니터링 (Process Monitoration) 은 내장형 디스플레이와 다양한 소프트웨어 옵션을 통해 가능하며, 사용자가 필요에 따라 프로세스 매개변수를 수정하고 실험을 수행할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4400B는 또한 선택적 프로세스 보완 기능을 제공합니다. 즉, 다양한 고성능 프로세스 소스를 통합하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 성능을 높일 수 있습니다. 또한, 기계는 추가 제어 정도를 위해 가열 (heating) 및 냉각 (cooling) 을 지원할 수 있습니다. 냉각은 프로세스 반복성을 높이기 위해 최대 40 ° C (최대 40 ° C) 로 설정할 수 있으며, 난방 제어를 통해 필요한 경우 온도를 0-450 ° C에서 빠르게 조정할 수 있습니다. 4400B는 최적의 유연성과 유지 관리 용이성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 쉽게 교체할 수 있는 구성 요소로, 필요에 따라 신속하게 수리 또는 조정할 수 있습니다. 또한, LAM RESEARCH 4400B 는 다양한 포트 위치와 구성을 제공하여, 다양한 ethching 요구 사항에 맞게 기계를 손쉽게 조정할 수 있습니다. 4400B는 산업용 종합적인 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. LAM 리서치 4400B (RESEARCH 4400B) 는 높은 정밀도 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 높은 유연성과 유지 보수에 이르기까지 일관되고 안정적인 성능을 제공하는 완벽한 도구입니다. 프로그래밍이 용이하며, 반복 (repeatibility) 기능을 통해 더 많은 프로세스를 실현하고 비용을 절감할 수 있습니다.
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