판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9412407

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9412407
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus는 OXFORD Instruments가 설계하고 개발 한 혁신적인 에치/애쉬 머신입니다. 반도체, 나노기술 (nanotechnology), 마이크로패브라이션 (microfabrication) 산업의 다양한 어플리케이션을 위한 고성능, 인체공학적, 비용 효율적인 도구입니다. Plasmalab 80 Plus는 강력한 etch/ash 무선 주파수 (RF) 생성기로 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 발전기는 고정밀 에치/애쉬 작동을 위해 조정 가능한 펄스 DC 또는 RF 전력을 생산합니다. 이 고출력 발전기를 통해 OXFORD Plasmalab 80 Plus는 비금속, 플라스틱, 연금속 및 기타 금속을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 가변 작업 테이블은 한 번에 최대 4 개의 기판을 수용하여 더 효율적인 처리를 수행합니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 냉각수 장비를 갖추고 있으며, 이는 챔버 내부의 온도를 낮게 유지하고 에치/애쉬 챔버의 표면을 시원하게 유지합니다. 이 냉각수 시스템은 증발을 줄이고 프로세스 반복성을 증가시킵니다. 또한 OXFORD Plasmalab 80 Plus는 매우 안전한 상호 연결, ESD 안전 연결 및 RF 케이지를 통해 사용자 및 운영자를 보호하는 안전 첫 번째 접근 방식을 제공합니다. Plasmalab 80 Plus는 Bertech의 AutoEtch Unit과 함께 제공되며, 버튼 터치로 최대 5 개의 기판을 원격으로 선택할 수 있습니다. 따라서 운영자가 수동으로 기판을 선택하고 변경할 필요가 없습니다. 또한 내장 레시피 및 머신 매개 변수 스토어 라이브러리는 프로세스 반복성을 향상시킵니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 마이크로 일렉트로닉스 및 마이크로 머치닝 기술에 다양한 응용 분야를 갖추고 있습니다. 나노 기술 및 전자 장치의 개발에서 RIE etch/ash에 사용할 수 있습니다. 습식 에칭 및 드라이 에칭/애싱 프로세스에도 적합합니다. 또한, Plasmalab 80 Plus는 플라즈마 보조 증착, 금속 및 유기 변이체 및 기타 표면 처리 공정에 사용될 수 있습니다. 따라서 OXFORD Plasmalab 80 Plus는 다양한 마이크로 일렉트로닉스 및 나노 기술 요구에 이상적인 고급 에치/애쉬 머신입니다. 신뢰할 수 있고, 반복 가능한 결과, 광범위한 자료, 사용하기 쉬운 기능 등으로 인해, 숙련된 사용자와 새로운 사용자 모두에게 적합한 선택이 됩니다.
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