판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9384679

옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 임계 에칭 및 애싱 매개변수에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공하는 최첨단 에처/애셔입니다. 고급 설계는 프로세스 균일성 (unifority) 과 장치 생산량을 최대화하기 위해 정확한 에칭 및 애싱 제어를 보장합니다. 이 장치에는 반복 가능한 프로세스 매개변수를 보장하기 위해 정확하게 제어 가능한 원형 마그네트론 안테나가 장착되어 있습니다. 또한 다중 범위 전원 공급 장치 (Multi-Range Power Supply) 를 통해 프로세스 매개변수에 대한 일시적인 응답을 제공하여 필요할 때 신속하게 조정할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 부식 보호를 극대화하는 고급 진공 챔버 디자인과 효율적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하는 다양한 웨이퍼 전송 메커니즘을 갖추고 있습니다. 또한 가스 흐름 모니터 (gas flow monitor), 압력 조절기 (pressure regulator) 및 가스 순도 분석기 (gas purity analyzer) 를 포함한 여러 프로세스 모니터링 및 제어 시스템이 장착되어 일관성 있고 안정적인 결과를 보장합니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 작업을 단순화하고 연산자 오류를 최소화하는 고급 사용자 인터페이스를 제공합니다. 제어 장비 (Control Equipment) 는 프로세스 매개변수에 대한 피드백을 실시간으로 제공하며 효율적인 데이터 로깅 및 분석 기능을 제공합니다. 보다 복잡한 에칭을 위해 Plasmalab 80 Plus에는 몇 가지 옵션이 있습니다. 공정 가스 혼합 시스템 (process gas blending system) 은 다중 가스의 효율적인 혼합을 제공하며, 자동 가스 교정 모듈은 시간이 지남에 따라 프로세스 드리프트를 최소화합니다. 온보드 산소 모니터는 비활성 가스 공정이 중요한 응용 분야에 사용되도록 도와줍니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 다재다능하고 강력한 장치로, 뛰어난 프로세스 균일성을 제공하며 광범위한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 제공합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 과 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 작업을 간소화하는 한편 프로세스 매개변수에 대한 피드백을 실시간으로 제공합니다. 보다 복잡한 에칭 응용 프로그램의 경우, 프로세스 가스 블렌딩 머신 (process gas blending machine) 과 자동 가스 교정 모듈 (automated gas calibration module) 은 안정적인 결과를 보장하고 시간이 지남에 따라 프로세스 드리프트를 줄입니다.