판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9383858

ID: 9383858
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD Systems, parts system.
옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 다양한 재료로 매우 정밀한 부품 및 부품을 생산할 수있는 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 장치는 놀라운 정확성과 반복성으로 부품을 생산할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus는 내장 플라즈마 소스를 사용하여 최대 5 cm2/분의 속도로 정확한 에칭 및 애싱 작업을 제공합니다. 이 시스템은 강하고 정밀도가 높은 모션 스테이지 (motion stage) 를 갖추고 있어 가장 작은 규모에서도 컴포넌트를 정확하게 조작할 수 있습니다. 플라즈마 소스와 함께, 이 장치는 임베디드 (embedded) 및 통합 (integrated) 소프트웨어 제품군을 사용하여 프로세스를 정확하게 제어합니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 180-300 mTorr 압력의 스테인리스 스틸, 공랭식 챔버를 갖추고 있습니다. 이를 통해 기계가 작동하고 일관된 프로세스 압력 (pressure and temperature) 을 유지할 수 있습니다. 이 도구는 3축 동작 제어 (motion control) 자산을 사용하여 최적의 부품 추적을 보장하며, 에칭 속도와 지속 시간을 정확하게 조정할 수 있습니다. 다른 주목할만한 특징으로는 침수 된 부품 에칭을위한 바늘 기화 모듈과 결합 된 통합 노즐 기반 에칭 및 애싱 노즐 (ashing nozzle) 세트가 있습니다. Plasmalab 80 Plus는 또한 반응성 이온 에칭, 이온 빔 에칭 및 이온 밀링을 포함한 여러 프로세스 옵션을 제공합니다. 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업에 사용되는 재료에 대한 포괄적인 옵션 개요를 제공합니다. 이 모델에는 몇 가지 안전 (Safety) 기능이 포함되어 있어 운영자가 모든 위험 조건으로부터 보호됩니다. 이러한 기능에는 시스템을 지속적으로 모니터링하는 컴퓨터 진단 장치 (Computerized Diagnostics Equips), 사용자 손상 위험을 더욱 줄이기 위한 연동 장치 (Interlock Unit), 비상 사태 발생 시 즉시 도구를 종료하는 비상 기계 (Emergency Machine) 가 포함됩니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 고급 기능 외에도 손쉬운 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 완전 자동 (Fully Automated) 유지 보수 자산 (Maintenance Asset) 을 통해 모델을 사전 프로그래밍하여 지정된 간격에 대한 유지 관리 (Maintenance Practice) 를 수행할 수 있으므로 장비가 항상 최고 (Running) 상태로 유지됩니다. 전체적으로 Plasmalab 80 Plus는 정확한 부품 및 부품을 생산할 수있는 고급 etcher/asher 시스템입니다. 첨단 기능, 안전 시스템 (Safety System) 이 많이 내장되어 있어 모든 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 작업에 적합합니다.
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