판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9352269
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판매
ID: 9352269
PECVD System
With THERMO NESLAB RTE-7 Chiller
MKS MFC's Flow rates range: 50 SCCM to 1 SLM
Deposition material: SiN/SiO2 and SiON
ALCATEL Pump
LAFERT Trolley
HONEYWELL Q Mate Power supply
HONEYWELL UDC3300 Power supply
Power: 90-250 VAC, 50/60 Hz, 18 VA
Gas / Flow rate
CF4+O2 / 200 SCCM
N2 / 1 SLM
SiH4 (2%) / N2 / 500 SCCM
NH3 / 50 SCCM
N2O / 1 SLM.
OXFORD Plasmalab 80 Plus는 고급 전체 기능 에처/애셔입니다. 그것 은 매우 다양 한 재료 를 "에칭 '하고" 애쉬' 할 때 정확 하고 반복 할 수 있는 결과 를 제공 하도록 설계 되었다. 직관적이고, 사용자 친화적 인 인터페이스와 고급 소프트웨어 (Power, Temperature, Process Time 등) 가 특징입니다. 80 Plus에는 다양한 프로세스와 재료를 수용할 수있는 여러 챔버 구성이 있습니다. Plasmalab 80 Plus에는 강력하고 안정적인 에칭 및 애싱 장비가 있습니다. 황동, 구리, 알루미늄, 스테인리스 스틸, PCB 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 80 Plus는 2 개의 독립적 인 진공 시스템을 사용합니다. 하나는 etch/ash 챔버와 하나는 진공 시스템입니다. 따라서 프로세스 정확성과 반복성이 극대화됩니다. 진공 장치에는 안정한 진공 수준을 유지하기 위해 무유 터보 분자 펌프, 기계식 백킹 펌프 및 VAR (진공 보조 재펌핑) 스테이션이 포함됩니다. 챔버는 아르곤으로 가압되며 10mbar ~ 500mbar에 이르는 다양한 압력을 제공합니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 매우 정확한 에칭 및 애싱 머신입니다. 작동 온도는 270 ° C ~ 350 ° C이며, 조절 가능한 압력 및 진공 수준은 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어합니다. 가변 동력 레이저 (variable-power laser) 는 실제로 타의 추종을 불허하는 정밀도를 위해 에칭 (etching) 과 증착 속도 (deposition rate) 를 제어할 수 있습니다. 고급 에칭 및 애싱 기능 외에도 Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 정교한 진단 기능을 제공합니다. 이 도구의 현장 (in-situ) 소프트웨어는 챔버 압력, 온도, 진공 상태, 보조 자산 상태 등 프로세스의 모든 측면을 모니터링합니다. 이를 통해 문제가 발생하기 전에 문제를 확인하고 해결할 수 있습니다. 업계 최고의 기능과 정확성으로, 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 다양한 재료를 빠르고 안정적으로 에칭하고 세척하는 데 탁월한 선택입니다. 고급 소프트웨어, 강력한 모터 모델, 사용자 친화적 인터페이스, 다목적 챔버 구성으로 인해 신뢰할 수 있는 고성능 머신이 됩니다.
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