판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9292317

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ID: 9292317
PECVD System With ALCATEL ADS 602H.
옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 샘플 표면, 박막 증착 및 나노 조각 연구에 이상적인 고급 에처/애셔입니다. 그 특유의 특징은 에치 (etched) 및 애쉬 (ashed) 표면 처리에서 나노 (nanofabrication) 에 이르기까지 광범위한 응용 분야에 이상적인 선택입니다. Plasmalab 80 Plus에는 2 개의 공정 챔버가 포함되어 있으며 광범위한 기능을 제공합니다. 첫 번째 약실은 에칭 및 애싱 응용 분야에 사용되며, 두 번째 약실은 반응성 스퍼터링 및 EB-PVD 프로세스를 통해 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 두 챔버 모두 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control) 기능을 통해 정확성과 반복성을 높이고, 사용자에게 최대의 프로세스 유연성을 제공합니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 매우 효율적이며, 사용자에게 사실상 무관용 에칭 및 애싱 기능을 제공합니다. 이 기계의 고급 전원 시스템 (Advanced Power System) 은 높은 전력 수준에서도 일관되고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 또한 Plasmalab 80 Plus는 프로세스 제어 정확도를 1 미크론까지 제공합니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 또한 보호 된 연동 시스템과 함께 고전압 전력 격리 시스템 (High Voltage Power isolation System) 과 같은 여러 가지 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 즉, 사용자는 시스템을 사용하는 동안 안전하게 유지되고 최고 수준의 운영 안전 (Operating Safety) 을 보장할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 직관적이고 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하여 학습 곡선을 쉽게 작동시키고 줄일 수 있습니다. 또한 사용자는 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 레시피 (recipe) 를 저장할 수 있는 기능을 제공하여 이전에 생성한 프로세스를 쉽게 리콜할 수 있습니다. 또한 OXFORD Plasmalab 80 Plus는 DC 및 RF 전원과 모두 호환되므로 광범위한 플라즈마 프로세스 제어 가능성이 있습니다. 이 기계는 또한 여러 가스를 지원하여 다양한 복잡한 표면 처리를 허용합니다. 요컨대, Plasmalab 80 Plus는 견본 표면 처리에서 나노 (nanofabrication) 에 이르기까지 다양한 에칭 및 애싱 응용 분야에 이상적인 매우 강력하고 유연한 기계입니다. 사용자 친화적 인터페이스와 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 은 연구/학술 환경에 이상적인 선택으로, 사용자에게 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위한 안전하고 안전한 도구 세트를 제공합니다.
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