판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9277860

옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 습식 또는 건식 공정에서 광범위한 샘플의 에칭 및 재싱에 사용하도록 설계된 고성능 에처/애셔입니다. 이 장비는 최신 플라즈마 생성 기술 (Plasma Generating Technology) 을 포함하여 에칭 (Etching) 및 애싱 (Ashing) 프로세스에 최적화된 기술을 갖추고 있으며, 다양한 재료와 응용 프로그램에 대한 프로세스를 집중하고 제어할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus에는 최대 13.56MHz의 주파수에서 5 ~ 500W 전력을 생산할 수있는 120W RF 발전기 전원 공급 장치가 있습니다. 발전기에는 통합 제어 시스템이 있으며, 에칭/애싱 프로세스와 관련된 전류, 전압, 온도 및 기타 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 이 발전기 (Generator) 에는 특정 프로세스의 요구에 따라 프로세스 매개변수를 자체 조정할 수 있는 지능형 제어 장치 (Intelligent Control Unit) 도 포함되어 있습니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus에는 한 번에 최대 4 개의 샘플을 보관할 수있는 4 포켓 샘플 홀더가 있으며, 이를 통해 시간을 절약하고 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 최대 샘플 크기는 직경이 4 인치이며, 높이는 1.5 인치, 에치 면적은 최대 10 인치입니다. 이 기계는 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 다시 수행 할 수 있으며 다중 패스 에치와 재를 허용합니다. Plasmalab 80 Plus에는 잠재적 인 위험으로부터 사용자를 보호하기 위해 설계된 통합 안전 도구가 있습니다. 에셋에는 RF 연동, 진공 연동 및 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼이 포함되어 있어 안전한 작동을 보장합니다. 이 모델에는 에칭/애싱 (etching/ashing) 매개변수를 모니터링하고 과압, 저온 또는 고온 또는 기타 안전하지 않은 조건이 발생할 경우 장비를 차단하는 내부 안전 회로가 있습니다. 또한 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 에는 여러 소프트웨어 컨트롤이 포함되어 있어 사용자가 특정 요구에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치의 제어 소프트웨어는 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 활용하여 탐색과 사용이 간편합니다. 이 인터페이스를 통해 사용자는 매개변수 (parameter) 와 프로세스 선택 (select process) 을 입력할 수 있으며, 에칭/어싱 프로세스에 대한 자세한 모니터링 및 제어를 제공할 수 있습니다. 이 기계는 나중에 사용할 레시피 (레시피) 와 프로그램 (프로그램) 을 저장할 수도 있으므로 테스트되고 검증된 프로세스를 쉽게 재생할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 에는 이러한 기능 외에도 진공 및 가스 흐름을 제어하기위한 소프트웨어와 플라즈마 방전 모니터링 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 고성능 및 정확성과 결합하여 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 를 에칭 및 애싱 어플리케이션에 이상적인 선택으로 만듭니다.