판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9273094
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OXFORD Plasmalab 80 Plus는 다양한 기능과 이점을 제공하는 고정밀 etcher/asher 기계입니다. 특히 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 에서 산업 부품 (industrial component) 에 이르기까지 다양한 표면 마무리 응용 프로그램에 유용합니다. Plasmalab 80 Plus에는 완전히 밀폐 된 스테인리스 스틸 챔버가 있으며 N2, Ar, O2, N2/O2 및 Ar/O2를 포함한 다양한 대체 프로세스 분위기를 제공합니다. 이러한 공정 대기 조합은 에치 레이트 (etch rate), 프로파일 (profile) 및 마무리 (finish) 를 정확하게 제어하여 에칭 또는 애싱 프로세스가 반복 가능한 결과를 생성하도록 도와줍니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 프로세스 조건을 더욱 제어하기 위해 다양한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 여기에는 무전기 증착, 반응성 이온 에칭 및 기판 에칭과 같은 프로세스가 포함됩니다. 또한 독립적으로 조절 가능한 공정 여행 높이 (travel-height) 를 제공하여 웨이퍼와 전극 사이의 다양한 간격 거리를 제어합니다. 내장 된 특정 가스 주입 시스템 (gas injection system) 은 가공소재 전체 표면에 걸쳐 고른 가스 분포를 제공하는 데 도움이됩니다. 이렇게 하면 프로세스 성능이 일관성 (consistent) 으로 유지되므로 etch 속도와 프로파일이 균일해집니다. 또한 Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 에는 고급 2 단계 진공 펌핑 시스템이 있으며, 이는 챔버의 수동 통풍이 필요하지 않도록 정확한 압력 제어를 가능하게합니다. 이 기계는 직관적 인 터치스크린 사용자 인터페이스 (touchscreen user interface) 에 의해 제어되며, 다양한 프로그래밍 가능한 프로세스 매개변수와 설정을 제공하여 작업을 쉽게 수행하고, 반복성과 재생성을 높입니다. 마지막으로, 이 기계는 기계의 비정상적인 작동을 방지하기 위해 내장된 안전 관리 (Safety Management) 기술과 제품의 추적성을 가능하게 하는 자동 바코드 리더 (Automated Barcode Reader) 시스템 (옵션) 을 갖추고 있습니다. 전반적으로 OXFORD Plasmalab 80 Plus는 다양한 어플리케이션에 다양한 기능과 이점을 제공하는 고성능 etcher/asher 머신입니다. 공정 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 제어하고 정확하고 신뢰할 수 있는 결과를 얻어 공업 부품 제조 (industrial component manufacturing) 에 매우 적합합니다.
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