판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9229826

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 9229826
웨이퍼 크기: 8"
ICP System, 8".
옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 다양한 재료에서 매우 정확하고 공격적인 에칭을 가능하게하도록 설계된 고급 드라이 에칭 장비입니다. 이 시스템은 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스를 사용하여 고효과 및 국소화 된 이온을 생성하여 실리카, 폴리 이미드, 알루미늄 및 금과 같은 많은 재료의 기질로 섬세하거나 복잡한 구조를 가져옵니다. 이 장치는 탁월한 에치 레이트 (etch rate), 선택성 (selectivity) 및 공정 반복성을 제공하여 다양한 분야의 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 이 시스템에는 사용이 간편한 사용자 인터페이스가 있으며 고성능 80MHz RF 생성기가 있습니다. 또한 전력 파형을 모니터링하기위한 디지털화 오실로스코프 (digitizing oscilloscope) 가 포함되어 있으며, 사용자에게 에칭 공정의 시각적 표현을 제공하여 최적의 결과를 위해 에칭 매개변수를 쉽게 분석하고 조정할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 정밀 자동 제어를 사용하며, 강력하면서도 정확하게 제어되는 에치를 제공하여 처리되는 기판의 종류와 두께에 따라 우수한 에치 산출량과 균일성을 얻을 수 있습니다. 이 도구는 에치 마스크 (etch mask) 의 배치를 기판 위에 정확하게 정렬하기 위해 고해상도 비전 (vision) 에셋과 통합됩니다. 비전 모델은 중첩 된 형상을 감지하여 더 높은 수율과 더 나은 반복 성을 가능하게합니다. 뿐 만 아니라, 이 장비 에는 진공실, 진공 격리 "밸브 ', 집적 제조 도구, 그리고 그 범위 를 확장 하는 데 도움 이 되는" 액세서리' 가 들어 있다. 또한 3 피스 쿼츠 양방향 뷰 포트 및 할로겐 램프 (halogen lamps) 가 있으므로 에칭 과정이 재료에 미치는 영향을 관찰하기 위해 에칭 중 샘플을 검사 할 수 있습니다. 안전 측면에서 OXFORD Plasmalab 80 Plus에는 인터 록, 가스 차단 밸브, 모션 검출기 및 소프트웨어를 안전하게 제공하는 완전 자동화 된 안전 시스템이 있습니다. 이렇게 하면 기계의 안전한 작동이 보장되고, 사용자는 Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 가 안전하고 신뢰할 수 있는 도구라는 안심할 수 있습니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 모든 응용 프로그램의 요구를 충족하도록 설계된 고급, 정확하고 신뢰성이 높은 드라이 에처입니다. 항공우주 (Aerospace), 의료기술 (Medical Technology) 등 다양한 업종의 중요 애플리케이션에 이상적인 선택이며, 높은 정확성과 반복성, 광범위한 자동 안전 (Automated Safety) 기능을 제공합니다.
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