판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9226670

옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 정밀 구성 요소의 신속한 프로토 타입 및 소규모 생산 응용 분야에 사용되는 정교한 플라즈마 에칭 장비입니다. 금속, 고분자, 합성 및 유전체를 포함한 다양한 기판 재료에서 형태와 회로의 정확하고 반복 가능한 에칭을 위해 설계된 Plasmalab 80 Plus는 정확하고 일관된 결과를 제공합니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 에칭 프로세스가 가압 환경에서 발생할 수있는 진공 챔버를 특징으로합니다. 또한 초당 최대 1000 리터 (1000 리터) 의 출력을 가진 2 단계 터보 펌프 시스템을 통합하여 공정 중에 올바른 압력 및 가스 흐름 (gas flow) 을 생성하여 최고의 식각 결과를 제공합니다. 이 장치는 일관성 있고 정확한 압력 제어를 위해 별도로 제어 가능한 4 개의 가스 라인을 갖춘 멀티 레벨 가스 전달 머신 (Multi-level gas delivery machine) 을 갖추고 있으며, 세밀한 세부 사항을 정확하게 에칭할 수 있습니다. 이 도구에는 안전한 에칭 환경을 유지하기 위해 이온 소스 인젝터 (ion source injector) 를 사용하는 전하 중화 음극 보호 자산이 포함됩니다. 기판의 뒷면은 가변 DC 전원 공급 장치가 장착 된 카운터 바이어스 그라운드 (counterbias ground) 로 플라즈마 에치 레이트 (plasma etch rate) 와 에치 깊이 (etch depth) 를 모두 제어 할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus는 OXFORD Instruments의 프로세스 내 모니터링 및 제어 모델을 통합하여 정확하고 상세한 프로세스 제어를 수행합니다. 이 장비는 과전류 보호를 통해 자동 전류 제어, 스퍼터링 증착률, 챔버 압력 및 플라즈마 모니터링을 허용합니다. 이 시스템은 또한 자동 기판 인덱싱 (automated substrate indexing) 을 갖추고 있으며, 자동 레이블 지정 기능을 통해 신속한 기판 로딩 및 언로드가 가능합니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 카세트당 최대 8 개의 기판을 이동하기 위해 쉽게 액세스 할 수있는 카세트 장치를 사용하여 비접촉식 샘플 로드/언로드를 용이하게합니다. 이 기계는 또한 고정밀 수직 세분화 포지셔닝 및 200mm x 200mm의 최대 이동 범위를 제공하며, 이는 미세 패턴 에칭을 제어하는 데 이상적입니다. 간단히 말해서, Plasmalab 80 Plus는 고도로 고급, 다기능 에칭 플랫폼으로, 다양한 재료에서 섬세한 회로를 정확하고 반복 할 수 있습니다. 즉, 자동화된 사용자 친화적 제어 및 안전 기능이 결합되어 수많은 연구, 프로토타입 (prototyping), 운영 수준 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.