판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #9135432

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ID: 9135432
PECVD System 208 V, 50 Hz Electrical phase: 3+neutral & earth.
옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 다양한 재료의 안정적이고 정확한 드라이 에칭 및 재싱을 제공하는 고급 에처 및 애셔입니다. 이 장비 는 "콤팩트 '한 것 으로 설계 되어 있으며, 심지어 실험실 이나 연구 시설 에" 리소스' 가 제한 되어 있음 에도 편안 하게 설치 할 수 있다. Plasmalab 80 Plus는 단일 챔버 에치/애쉬 악기로, 프로세스 챔버로 다른 유형의 기판을 처리 할 수 있습니다. 외관은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어져 내구성과 미학적으로 즐겁습니다. 이 기기는 PLC 제어 패널로 구성되어 총 챔버 압력, 이온 에너지, 가스 흐름 및 RF 파워와 같은 처리 시 주요 매개변수를 완벽하게 제어합니다. 온보드 진단 시스템은 유지 관리 및 문제 해결을 용이하게하도록 설계되었습니다. 고급 사용자 인터페이스 (advanced user interface) 를 통해 연산자는 에치/애쉬 (etch/ash) 처리의 세트 포인트에 쉽게 액세스할 수 있으며, 애플리케이션의 특정 요구 사항에 따라 조정할 수 있습니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 Asher, Reactive Ion Etch (RIE) 및 Ion Beam etch (IBE) 와 같은 다양한 프로세스를 실행할 수 있습니다. 또한 경과 시간 (elapsed time) 또는 반응 기반 기준에 따라 프로세스를 관리하면서 반 전도성 재료의 드라이 에칭을 수행하기 위해 다양한 액세서리를 갖추고 있습니다. 또한, 이 기기는 2 채널 배송으로 설계되어 서로 다른 재료를 쉽게 적재 할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus는 다양한 비활성 및 반응성 가스에 사용하도록 최적화되었습니다. 첨단 가스 공급 설계는 10 개의 가스 밸브, 공급 압력/온도 조절기 및 디지털 판독점의 도움으로 가스 압력 및 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 필요에 따라 사용자가 다른 가스를 쉽게 전환할 수 있습니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 또한 에치/애쉬 프로세스를 동시에 수행할 수 있으며, 처리 중인 재료의 유형에 관계없이 효율적이고 안정적입니다. 이 기계에는 에치 타임 (Etch-time) 과 같은 다른 매개변수를 보여주는 디지털 디스플레이 (digital display) 가 장착되어 있으며, 디지털 디스플레이를 사용하여 정확하고 반복 가능한 에칭 및 애싱 실험을 위해 세트 포인트를 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 전체적으로 Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 안정적이고 정밀한 에칭 및 애싱 장비로, 편리하고 정확한 제어를 염두에 두고 설계되었습니다. 고급 PLC 제어 패널, 온보드 진단 시스템, 정밀 가스 공급 장치, 2 채널 배송 및 정밀한 디지털 판독값을 통해, 사용자는 다른 기판 및 재료를 에칭 및 회수 할 때 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다.
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