판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293766036

옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 다양한 샘플에 대한 수많은 정밀 에칭, 애싱 및 하강 기능을 제공하는 고급 etcher/asher 장비입니다. 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기능은 최대 800V의 펄스를 제공하는 통합 펄스 전원 (pulsed power source) 에 의해 구동되므로 시스템이 다양한 어닐링 및 에칭 기술을 실행할 수 있습니다. 또한, Plasmalab 80 Plus에는 프로그래밍 가능한 자동 샘플 전송 장치와 효율적인 샘플 처리를 위해 로봇 웨이퍼 처리 암이 장착되어 있습니다. OXFORD Plasmalab 80 Plus는 배치 및 단일 웨이퍼 처리 기능을 모두 제공하는 다용도 공정 챔버를 갖추고 있습니다. 이 공정 챔버 (Process Chamber) 는 배치 처리를 위해 최대 6 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 내장 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 및 조정 가능한 초점 가스 인터페이스 (Focus Gas Interface) 를 갖추고 있습니다. 또한, 질소 퍼지 머신 (purge machine) 은 공정 챔버를 깨끗하고 불순물이 없도록 유지시켜 공정 무결성을 보장합니다. Plasmalab 80 Plus는 고급 에칭 및 어닐링 기능 외에도 고급 디커밍 프로세스도 제공합니다. 고급 하강 프로세스는 RF 전력, RIE (Reactive-ion-etching) 및 습식 에칭의 조합을 사용하여 깨끗한 에칭 표면을 만듭니다. 이 프로세스는 뛰어난 에칭 정확도와 균일 한 금속 레이어 에칭 결과를 제공합니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 특정 응용 프로그램의 특정 에칭 요구에 맞게 조정할 수있는 광범위한 에칭 레시피를 실행할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 레시피 프로그래밍이 쉽고, 에칭 사이클 (etching cycle) 결과에 대한 데이터 로깅을 통해 쉽게 참조할 수 있습니다. 마지막으로, Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 의 고급 안전 기능은 실험실이나 산업 환경에서 사용할 수 있도록 안전하고 안전한 에칭 도구입니다. 이 자산은 고급 경보 (advanced alarm), 활성 서지 보호 (active surge protection), 접지 차폐 (grounded shielding) 및 과전압 보호 (over-voltage protection) 와 같은 여러 가지 안전 기능을 갖추고 있습니다. 결론적으로, 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 다양한 샘플에 대한 정밀 에칭, 애싱 및 하강 기능을 제공하는 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 으로 제작되어 실험실 및 산업 환경에서 안정적인 에칭을 가능하게 합니다. 다용도 프로세스 챔버와 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 반복 가능하고 재현 가능한 에칭 결과를 제공하며 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의 된 다양한 에칭 레시피를 수용 할 수 있습니다.