판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293764146

OXFORD Plasmalab 80 Plus는 재료 연구, 반도체 제작 및 칩 생산에 사용하도록 설계된 asher 및 etcher입니다. 첨단 디자인과 건축으로 매우 정확하고, 정확하고, 정확한 에치 (etch) 와 애셔 결과를 낼 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 최고 품질의 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 있어 가장 내구성이 뛰어나고 안정적인 성능뿐만 아니라 탁월한 유출 및 오버플로 저항을 제공합니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 고급 전자 컨트롤이 장착되어 있으며 상호 작용하는 디지털 디스플레이가 있습니다. 자체 포함 된 안전 테스트 시스템 (Safety Test System) 과 뛰어난 온도 안정성을 갖춘 1 단계 고진공 기계 펌핑 시스템을 사용합니다. 추가 기능에는 조절 가능한 챔버 압력 범위 및 광범위한 작동 범위 (최대 350W) 의 내장 고성능 RF 생성기가 포함됩니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 작업의 정확한 요구 사항에 따라 특정 비율 및 유량으로 설정 할 수있는 최첨단 가스 믹서 및 히터 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 반복 가능한 에치 레이트가 0.1 um/min인 정밀 멀티 레이어 에칭 및 애싱 (ashing) 이 가능합니다. 유연한 프로세스 제어를 통해 최적화를 통해 사이클의 시간 (cycle time) 을 최소화하고 처리량을 극대화하여 정확하고 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 디자인 덕분에 Plasmalab 80 Plus는 작동하기 매우 쉽습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스는 직관적이고 간단하게 설계되어 있어 설치/조정 작업이 빠르고 간편합니다 (영문). 모든 프로세스는 매우 자동화되어 있으며, 여러 가지 고급 안전 기능을 갖추고 있으며, 최적화된, 안전하고 생산적인 프로세스를 보장합니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 뛰어난 에칭 및 애싱 기능 외에도 웨이퍼 클리닝 및 디본딩에 이상적입니다. 고급 디자인과 건설로 인해 Fab 등급 반도체 생산에 특히 적합합니다. 이 etcher/asher는 유지 보수 시간이 매우 짧고 신뢰성이 높습니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 품질 소재로 만들어집니다. 즉, 최소 유지 보수 또는 수리 작업으로 수년 동안 높은 성능이 보장됩니다.