판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293751369

OXFORD Plasmalab 80 Plus
ID: 293751369
PECVD Systems.
옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 엄격한 공차와 부드러운 마무리로 고급 샘플을 생산하도록 설계된 에칭 장비입니다. 이 시스템에는 자동 액체 디스펜서, 고급 소프트웨어 제어 플라즈마 전원 공급 장치, 소형, 단단히 구성된 플래튼, 직관적 인 소프트웨어 인터페이스 및 관련 액세서리 세트가 있습니다. Plasmalab 80 Plus '액체 디스펜서는 2.5ml 단위로 0.1 ~ 250ml 범위의 에칭 액체 및 기타 시약을 정확하게 분배합니다. 플라즈마 전원 공급 장치 (Plasma Power Supply) 는 최대 70kW의 속도로 웨이퍼 표면으로 가속 된 고속 플라즈마 (Plasmas) 를 제공하여 반복 가능하고 정확한 결과를 얻을 수있는 안정적인 에칭 환경을 만듭니다. 고도로 전도성 인 "알루미늄 '합금 으로 구성 된" 플래튼' 은 "에치 '재료 를 제자리 에 두며, 공정 의 시작 부터 끝 까지 균일 한" 에칭' 을 보장 한다. 또한, 이 에처는 조정 가능한 매개 변수의 배열을 특징으로하며, 사용자가 압력, 플라즈마 파워, 전류 등의 변수를 세밀하게 조정할 수 있으므로, 원하는 균일성이 에칭 프로세스 전체에서 충족되도록 합니다. Plasmalab의 소프트웨어 인터페이스는 직관적이고 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 이 제품은 사용하기 쉬운 선택 영역으로 구성된 메뉴 기반 장치 (menu-based unit) 로, 사용자는 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 즉석에서 조정할 수 있습니다. 또한 기본 제공되는 사전 설정 프로그램 라이브러리 (Library of Preset Program) 를 통해 사용자는 에칭 조건을 빠르고 정확하게 최적화하여 특정 기판의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 에는 에칭 프로세스를 더욱 최적화하고 사용자의 특정 에칭 요구를 충족시키는 다양한 액세서리도 포함되어 있습니다. 여기에는 안전 잠금 키 (Safety Lockout-key), 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 및 안전한 웨이퍼 리버스 로딩을위한 고정 프레임 및 챔버 외부에서 매개변수를 조정하기위한 리모콘 (Remote Control) 이 포함됩니다. 또한, 기계는 침수 에칭을위한 습식 벤치 (wet bench for submersion etching) 및 에칭 프로세스에 동적 온도 변화를 추가하기위한 온도 조절 워크 스테이션 (tempering-controlled workstation) 을 포함하여 에칭 프로세스를 추가로 사용자 정의하기 위해 다양한 옵션 액세서리로 업그레이드 할 수 있습니다. 전체적으로 Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 믿을 수 있고 고급 에칭 툴로, 사용자에게 반복 가능한 균일 한 마감으로 고급 샘플을 만들 수있는 다양한 기능과 정밀 제어 매개변수를 제공합니다. 직관적인 소프트웨어와 광범위한 액세서리 (accessory) 를 통해 사용자는 에칭 (etching) 프로세스를 더욱 사용자 정의하여 정확한 애플리케이션 요구를 충족할 수 있습니다.
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