판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293697553

옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 반도체 제조 및 연구 응용 분야의 정밀 에칭 및 애싱 공정을 위해 설계된 플라즈마 기술을 갖춘 고급형 etcher/asher 장비입니다. 다양한 산업을위한 첨단 계측기 제공 업체 인 옥스포드 인스트루먼트 (OXFORD Instruments) 가 개발 한 Plasmalab 80 Plus는 광범위한 자재 및 기판을 다루는 탁월한 성능, 안정성 및 다재다능성으로 유명합니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 시스템의 핵심에는 고급 플라즈마 소스 기술이 있으며, 이는 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 반응성이 높은 플라즈마 환경을 생성합니다. 이 장치는 RF (무선 주파수) 와 마이크로파 에너지 (microwave energy) 의 조합을 사용하여 높은 정밀도와 균일성으로 기판 표면에서 물질을 효율적으로 분해하고 제거하는 제어 된 플라즈마 방전을 만듭니다. 플라즈마 소스에는 정교한 임피던스 매칭 (impedance matching) 및 튜닝 기능이 장착되어 있어 안정적인 플라즈마 상태를 유지하고 프로세스 성능을 최적화할 수 있습니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 다양한 전원 공급 장치를 갖춘 대형 프로세스 챔버로, 특정 프로세스 요구 사항에 따라 플라즈마 에너지 밀도와 분배를 조정할 수 있습니다. 이 기계는 산소, 플루오린, 염소와 같은 반응성 가스와 아르곤 (argon), 헬륨 (helium) 과 같은 비활성 가스를 포함하여 다양한 가스 분사 옵션을 제공하며, 에치 속도, 선택성, 프로파일 기능을 정확하게 제어하여 다양한 에칭 및 애싱 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 기능. 기판 처리 및 프로세스 제어 측면에서 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 에는 웨이퍼, 포토 마스크, 평면 패널 디스플레이 등 다양한 크기와 유형의 기판을 수용 할 수있는 다목적 샘플 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 툴은 사용자가 프로세스 매개변수를 실시간으로 프로그래밍하고 모니터링할 수 있도록 하는 직관적인 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 통해 자동화된 작동을 위해 고안되었으며, 여러 처리 실행에 걸친 재현이 가능하고 일관성 있는 결과를 제공합니다. 안전 및 신뢰성은 Plasmalab 80 Plus 자산 설계에서 가장 중요한 고려 사항이며, 안전하고 효율적인 작동을 보장하기 위해 연동 메커니즘, 가스 흐름 모니터링, 진공 압력 센서 등의 기능이 내장되어 있습니다. 이 모델에는 고급 진단 툴 (Diagnostic Tools) 과 실시간 모니터링 (Real-Time Monitoring) 기능이 장착되어 있어 프로세스 조건의 이상이나 편차를 감지하고, 다운타임을 최소화하고, 생산성을 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 반도체 제작 및 연구 응용을위한 플라즈마 처리 기술의 정점을 나타내는 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 고급 플라즈마 소스 기술, 유연한 프로세스 제어 기능, 견고한 설계를 갖춘 Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 는 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스에 탁월한 성능과 다양한 기능을 제공하여, 장치 제작에서 최고의 정확성과 품질을 달성하려는 연구원 및 제조업체에게는 없어서는 안될 도구입니다.