판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293668719

OXFORD Plasmalab 80 Plus는 웨이퍼 레벨 패키징, 인쇄 회로 기판 제작 및 MEMS 제작과 같은 첨단 응용 프로그램을위한 반 미크론 미크론 미세 금속 패턴을 제작하기 위해 설계된 최첨단 Asher/Etcher입니다. 이 장비는 두 가지 별개의 기술 인 RIE (Reactive Ion Etching) 와 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 를 사용하여 동시에 에치, 증착, 에치 및 증착을 사용합니다. RIE 기술은 높은 정밀도로 에치 할 수있는 반면, PECVD는 정확한 두께로 필름을 입금하는 데 사용됩니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 에는 듀얼 이온 소스가 장착되어 있어 다양한 재료를 매우 정확하게 에칭할 수 있습니다. 이 에처는 또한 하이테크 모터 화 단계 (hi-tech motorized stage) 와 온도 적응 진공 복장을 갖추고 있으며, 정확하고 반복 가능한 에칭 및 증착 결과를 보장합니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 는 다양한 에칭 및 증착 작업에 대한 다양한 프로세스 레시피를 제공하며 가스 믹싱 시스템 (gas mixing system) 과 에칭 및 증착 프로세스를 제어 및 모니터링하기위한 통합 소프트웨어 및 하드웨어를 갖추고 있습니다. Plasmalab 80 Plus에는 정교한 제어 장치가 있으며 최대 웨이퍼 크기 (200mm) 까지 처리 할 수 있습니다. 에처 (etcher) 는 작동이 간단하여 프로세스와 레시피를 빠르게 설정하고 변경할 수 있습니다. 마지막으로, OXFORD Plasmalab 80 Plus는 복잡한 고급 프로젝트를 수행 할 수있는 etcher/deposition machine이 필요한 실험실에 이상적입니다.