판매용 중고 OXFORD Plasmalab 80 Plus #293660207

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에처/애셔
제조사
OXFORD
모델
Plasmalab 80 Plus
ID: 293660207
빈티지: 2005
System Gases: SiH4, NH3, N2O, N2, CF4 2005 vintage.
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OXFORD Plasmalab 80 Plus는 고성능 자동 Plasma Etcher 및 Asher입니다. 높은 품질과 재현 가능한 결과를 제공하는 복잡한 구조에서 우수한 플라즈마 에칭 성능을 제공합니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 에는 고출력 ECR 소스와 속도 및 정확성을 위해 동력 스테이지가 장착되어 있어 다양한 재료에 적합합니다. 옥스포드 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (Oxfod OXFORD Plasmalab 80 Plus) 의 강력한 동력 단계는 스캐닝 속도를 최대 100mm/s까지, 스텝 크기는 1µm까지 달성 할 수 있습니다. 고급 제어 장치 (Advanced Control Equipment) 는 웨이퍼 전체에서 에치 레이트의 뛰어난 반복성과 균일성을 보장합니다. Plasmalab 80 Plus는 또한 마이크로 구조의 효율적인 에칭을 위해 저압, 폐쇄 루프 시스템을 갖추고 있습니다. 저압 단위의 정확한 작동은 더 작은 피쳐를 정확하게 에칭하고 입자 강착을 최소화합니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 에는 에칭 중 웨이퍼의 열 스트레스를 최소화하는 고효율 냉각기가 장착되어 있습니다. 이 도구는 장비의 긴 서비스 수명과 더 높은 에칭 (eching) 성능을 촉진하는 데 도움이 됩니다. Plasmalab 80 Plus (Plasmalab 80 Plus) 에는 자동 가스 전달 자산이 장착되어 있으며, 이 자산은 다양한 웨이퍼 재료에 대한 에칭 공정에 맞게 여러 가스 흐름을 정확하게 조정하도록 설계되었습니다. 이 모델은 에칭 프로세스를 최적화하고, 재료 손실을 최소화하고, 생산 시간을 단축하는 데 도움이 됩니다. 옥스포드 플라즈말랩 80 플러스 (OXFORD Plasmalab 80 Plus) 에는 소프트웨어 제어 장비가 포함되어 있어 에칭 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 제어 할 수 있습니다. 온보드 시스템을 사용하면 시스템 제어 향상, 정확도 향상, 에칭 속도가 빨라집니다. Plasmalab 80 Plus는 고급, 신뢰성, 사용하기 쉬운 플라즈마 에칭 장치입니다. 매우 정밀하고 반복성이 뛰어난 다양한 소재에서 탁월한 에칭 성능을 제공합니다 (영문). 소규모 및 대규모 생산 실행 및 저렴한 부분당 에칭 (etching) 에 이상적인 기계입니다.
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