판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS HIPOX #293770796

GASONICS/NOVELLUS HIPOX는 반도체 장치 제조의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 고도의 확산 로입니다. 이 장비는 화학적 또는 물리적 증기 증착 (CVD/PVD) 공정으로 실리콘과 같은 고체 물질을 표면에 증발시켜 작동합니다. 증발 과정 또는 "확산" 은 비활성 가스를 함유 한 진공 챔버에서 수행된다. "코우팅 '될 기질 의 표면 은 제어 된 온도 에서 유지 되고, 증발 된 물질 은 그 들 위 로 구동 된다. 이 시스템은 닫힌 루프 핫 프레임 (closed-loop hot-frame) 설계를 기반으로 만들어졌으며, 프로세스 챔버는 프레임에 장착되고 2 개의 내부 가열 요소로 가열됩니다. 가열은 방에 도입되는 비활성 가스 혼합물 (inert gas mixture) 을 통해 제어되며, 증기는 부분적으로 진공 배기 장치를 통해 소진됩니다. 기화 된 재료는 핫 가스 다이내믹 머신 (hot-gas dynamic machine) 에 의해 챔버를 통해 구동되며, 이는 표면 위의 재료의 균등한 분포를 보장합니다. GASONICS HIPOX (GASONICS HIPOX) 툴은 다양한 프로세스 가능성을 제공하여, 프로세스 조건을 특정 애플리케이션에 맞게 정확하게 조정할 수 있습니다. 공정 모니터링 (Integrated Process Monitoring) 및 제어 (Control) 기능을 통해 챔버에서 공정의 매개변수 (예: 압력, 온도, 가스 흐름) 를 모니터링할 수 있습니다. 자산은 독립적으로 제어되는 자체 3 상 전원 공급 장치로 구동됩니다. NOVELLUS HIPOX 모델의 견고한 디자인은 높은 공정 수율을 보장하며 우수한 미세 정밀 증착을 제공합니다. 또한이 장비는 2 개의 오븐 난방 기능 (플래시 난방, 단기 응용 프로그램 용, 하단 난방) 을 제공합니다. 이 시스템은 또한 공정 온도가 일관되게 유지되도록 가열 전 챔버 (pre-heating chamber) 를 갖추고 있습니다. HIPOX 확산 퍼니스는 잘 설계되고 효율이 높은 유닛으로, 고속 (high-precision) 컴포넌트 제조를 위해 반복 가능한 동적 코팅을 제공 할 수 있습니다. 이 제품은 다양한 기판 크기를 수용할 수 있으며, 가장 엄격한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 조정할 수 있습니다 (영문). 포괄적인 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 통해 효율성을 높일 수 있으며, 프레임 (Frame) 설계와 견고한 구성으로 안정적인 성능을 보장합니다. 이 기계는 높은 수준의 정밀도 (precision) 와 반복성 (repeatability), 고품질 (high- quality) 표면 마무리가 필요한 어플리케이션에 이상적입니다.