중고 GASONICS / NOVELLUS (확산로 및 액세서리) 판매용

현재 NOVELLUS Systems의 일부인 GASONICS는 널리 알려진 확산 용광로 및 액세서리 제조업체입니다. 열산화, 어닐링, 도펀트 확산 등의 공정을 위해 반도체 산업에서 확산 용광로가 필수적입니다. 이러한 용광로는 이러한 프로세스가 발생하는 데 필요한 정확하고 제어된 조건을 제공하도록 설계되었습니다. GASONICS/NOVELLUS는 다양한 모델과 사양을 갖춘 다양한 확산 로와 액세서리를 제공합니다. 널리 사용되는 유사체로는 HIPOX 6000, HIPOX 및 HIPOX 5025가 있습니다. 이러한 모델은 고급 기능과 고성능 기능으로 유명합니다. GASONICS/NOVELLUS 확산 용광로의 주요 장점 중 하나는 뛰어난 온도 조절로, 정확한 프로세스 반복성을 제공합니다. 또한 "웨이퍼 '를 가로지르는 온도 와" 가스' 의 흐름 분포 면 에서 우수 한 균일성 을 보이기 때문 에 가공 된 "웨이퍼 '의 질 이 일치 한다. 또 다른 장점은 사용자 친화적인 인터페이스와 제어 시스템 (Control System) 인데, 이를 통해 운영자는 확산 프로세스 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이는 전반적인 생산성을 높이고 오류를 줄여줍니다. GASONICS/NOVELLUS 확산 용광로를 사용하는 응용 예로는 실리콘 웨이퍼에 얇은 이산화규소 층을 만드는 열 산화 (thermal oxidation), 웨이퍼의 전기 특성을 수리 또는 수정하기위한 어닐링 (annealing) 및 도펀트 확산 (dopant diffusion) 이 있습니다. 웨이퍼 표면에 불순물을 도입합니다. 전체적으로 GASONICS/NOVELLUS 확산 로와 관련 액세서리는 정밀도, 신뢰성, 유연성으로 유명하여 반도체 업계에서 인기있는 선택입니다.