판매용 중고 GASONICS / NOVELLUS HIPOX 6000 #293758592

GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000은 고속 산화 및 확산을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 장비는 특허를 획득한 고밀도 다중 노드 (multianode) 설계를 통해 확장 가능하고 정확하며 균일 한 기판 난방 시스템을 제공합니다. GASONICS HIPOX 6000은 모듈식 및 확장 가능한 설정으로 정밀한 프로세스 온도 제어를 제공합니다. 이 고급 장치 (Advanced Unit) 는 높은 처리량과 낮은 TCO (총소유비용) 를 제공하도록 설계되어 제조 작업을 위한 매력적인 옵션입니다. NOVELLUS HIPOX 6000은 최대 3 개의 프로세스 노드에 대해 1/4 인치 두께의 핫플레이트와 함께 제공되며, 온도 범위는 최대 6,000 ° F입니다. 최대 6kW 전력 입력을 사용하여 HIPOX 6000은 한 번에 최대 4 개의 산화 모듈을 지원할 수 있습니다. 또한이 고급 기계는 CVD (Advanced Chemical Vapor Deposition) 및 CMP (Chemical Mechanical Planarization) 프로세스에서 TSV (Through-Silicon) 및 관련 프로세스에 이르기까지 다양한 응용 분야를 처리하도록 설계되었습니다. 다양한 웨이퍼 크기와 모양에 이상적인 고급 열 제어를 통해 GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000은 빠른 열 가열이 필요한 산업 어플리케이션에 적합합니다. 또한 ± 0.25 ° C 해상도로 인상적인 온도 정확성과 반복성을 제공하는 반면, 자동 열 균일 성 소프트웨어는 기판 전체의 온도 수평화를 약속합니다. 또한, GASONICS HIPOX 6000 은 사용자에게 친숙한 Windows 인터페이스를 통해 프로세스 제어를 제공하며, 이를 통해 특정 실행 매개변수의 프로세스 매개 변수 또는 구성을 수정할 수 있습니다. 또한 NOVELLUS HIPOX 6000에는 더 나은 열 분배를위한 웨이퍼 회전 (wafer rotation), 컴퓨터 제어 공정 제한 및 도구의 신뢰성을 극대화하기 위한 안전 연동과 같은 안전 기능이 포함되어 있습니다. HIPOX 6000은 또한 빠른 건조를 위해 설계되었으며 듀얼 채널 고 진공 확산 펌프를 갖추고 있습니다. 또한 GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000 은 설치 및 운영이 용이하고, 특정 요구 사항에 따라 맞춤식 구성도 가능합니다. 결론적으로, GASONICS HIPOX 6000은 특허를 획득한 고밀도 다중 노드 설계, 정밀한 온도 제어, 다양한 안전 기능을 갖춘 고급 확산 용광로 및 액세서리 (accessory) 로, 다양한 산업 분야에 대한 매력적인 선택입니다. 이 자산은 복잡한 프로세스를 처리하도록 설계되었으며, 특정 요구 사항에 따라 쉽게 확장할 수 있습니다.