판매용 중고 ELECTRON THERMAL PROCESSING EQUIPMENT / ETPE QV-300-SCR #9089376
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ID: 9089376
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Diffusion furnace, up to 12"
R&D scale tool with control over heating, atmosphere, pressure and vapor diffusion
Previously used for Se introduction, but evaporator re-configuration is possible
Uses 18 quartz IR resistance heaters
Temperature: 300 °C to 650 °C
Siemens and Eurotherm control systems
Custom vented glove box cabinet with an ante-chamber and all electronics and control systems housed within
2013 vintage.
전자 열 처리 장비/ETPE QV-300-SCR (진화 열 처리 장비) 은 어닐링, 밀봉 및 소결을위한 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 "시스템 '은 폐쇄 된 환경 에서 여러 가지 복잡 한 열 과정 을 수행 할 수 있으며, 열전달 과정 을 전례 없는 정도 로 제어 할 수 있다. 이 단위는 최대 1320 ° C의 최적의 기판 공정 온도를 달성 할 수 있습니다. 확산 용광로 는 많은 산업 용도 에서 유용 한, 고온 과 빠른 처리 시간 을 공급 한다. ETPE QV-300-SCR은 저항 가열 요소와 대류 열 전달의 조합을 사용하여 승화, 어닐링, 밀봉 및 소결 프로세스에 필요한 열 전달을 제공합니다. 이 기계는 또한 용광로 내에 균일 한 온도 분포를위한 석영 대류 튜브를 포함합니다. 적분 흑연 가열 요소에는 최고의 공정 온도 제어를 제공하는 다층 코일 (coil) 의 고온 저항 와이어가 포함되어 있습니다. 이러한 가열 요소는 본질적으로 저항성이 있으며, 샘플 재료에 대한 열 충격을 방지하고, 샘플 재료의 균일 한 가열을 제공한다. 광범위한 가변 속도 원심 송풍기는 균일 한 열 전달에 사용됩니다. 전자 열 처리 장비 QV-300-SCR (ELECTRON THERMAL PROCESSING EQUIPMENT QV-300-SCR) 의 챔버 내에 위치한 모루 어셈블리는 합금 강과 스테인리스 강으로 구성되어 있으며, 뛰어난 강도와 부식 내성을 제공합니다. 이 도구의 챔버 (chamber) 덮개는 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. QV-300-SCR에는 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼도 포함되어 있어 긴급 상황 시 신속하게 종료할 수 있습니다. ELECTRON THERMAL PROCESSING EQUIPMENT/ETPE QV-300-SCR의 고급 기온 제어 자산은 난방 과정 전반에 걸쳐 올바른 온도가 달성됩니다. 또한, 히터의 산소 수준은 최적의 난방 조건에 맞게 조정 될 수있다. 이 모델에는 온도를 설정하고 모니터링하는 컴퓨터소프트웨어 (Computersoftware) 와 모든 데이터를 기록하고 저장하는 컴퓨터소프트웨어 (Computersoftware) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로, ETPE QV-300-SCR은 신뢰할 수 있고 고급 확산 용광로 및 액세서리 장비로, 어닐링, 밀봉 및 소결 공정과 같은 많은 산업 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 유지 보수, 컴퓨터 제어 온도, 탁월한 온도 조절, 부식 내성 앤빌 (anvil) 어셈블리 등 다양한 기능과 이점을 제공합니다.
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