중고 ELECTRON THERMAL PROCESSING EQUIPMENT / ETPE (확산로 및 액세서리) 판매용
ETPE (ELECTRON THERMAL PROCESSING EQUIPMENT) 는 최첨단 확산 용광로 및 액세서리 제조업체입니다. ··· "확산 로 '는 고온 에서 물질 의 열 처리 를 촉진 시켜, 불순물 을 기판 으로 제어 하는 데 도움 이 되는, 반도체 산업 에서 중요 한 도구 이다. 에트 피 (ETPE) 의 확산 용광로는 발전하는 반도체 제조업체의 요구를 충족시키기 위해 고급 기능과 뛰어난 성능을 제공합니다. ETPE가 생산 한 유명한 모델 중 하나는 QV-300-SCR입니다. 이 확산 용광로는 정밀 온도 제어, 우수한 공정 균일성 및 효율적인 가스 흐름 관리를 결합합니다. 전체 프로세스에 걸쳐 정확하고 안정적인 온도 조절을 제공하는 SCR (Silicon Controlled Rectifier) 제어 시스템이 장착되어 있습니다. QV-300-SCR은 뛰어난 웨이퍼 투 웨이퍼 (wafer-to-wafer) 및 로트 투 로트 (lot-to-lot) 균일성으로 유명하며 일관되고 고품질의 반도체 재료를 제공합니다. ETPE 의 확산 용광로에는 다양한 액세서리 (accessory) 가 있어 기능 및 효율성이 향상됩니다. 이러한 액세서리에는 석영 공정 튜브, 가스 캐비닛, 가스 제어 시스템 및 서모커플이 포함됩니다. "쿼츠 '공정" 튜브' 는 확산 과정 을 위한 깨끗 하고 견고 한 환경 을 제공 하는 중요 한 구성 요소 이다. "가스 '" 캐비닛' 과 "컨트롤 시스템 '은 열 처리 중 에" 가스' 를 정확 하게 전달 하고 모니터링 한다. 열전대는 확산 로의 온도를 정확하게 측정하고 제어합니다. ETPE 확산 로의 장점으로는 높은 신뢰성, 고급 프로세스 제어 기능, 다양한 웨이퍼 크기와 재료를 수용할 수 있는 유연성 등이 있습니다. 이러한 용광로는 처리량을 극대화하고, 주기 시간을 줄이고, 수율을 향상시켜, 반도체 제작 프로세스의 전반적인 효율성을 높이도록 설계되었습니다. 요약하자면, ETPE의 확산 용광로 및 액세서리 (예: QV-300-SCR) 는 전자 열 처리 장비의 최전선에 있습니다. 고급 기능, 뛰어난 성능, 반도체 제조업체에 다양한 이점을 제공하여 고품질의 열 처리 (thermal processing) 기능을 제공합니다.
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