판매용 중고 AXCELIS XT300 #9390658

AXCELIS XT300 Diffusion Furnace는 안정적이고 고도의 가구 장비입니다. 이 모델은 산화 및 에피 택시 성장 (epitaxial growth) 과 같은 확산 및 관련 과정을 위해 특별히 설계되었습니다. 수직 (vertical) 아키텍처 설계와 비활성 (inert) 가스 제거 장비를 활용하는 XT300은 최적화된 생산을 위해 균일 한 재료 가열을 보장합니다. 이 모델에는 챔버 용 표준 2 "x2" 쿼츠 서셉터와 4 "x4", 4 "x6" 및 6 "x8" 을 포함한 여러 선택적 쿼츠 서셉터가 제공됩니다. 온도의 균일성은 최대 +/- 2 ° C에 이르며, 이는 반도체 처리에서 성공을위한 뛰어난 안정성 수준입니다. 또한, 동축 냉각 시스템 및 PID 컨트롤러 덕분에 온도 범위가 상대적이고 제어 가능합니다. 또한, AXCELIS XT300에는 진공 예열기, 개선 된 재료 흐름을위한 세라믹 배플, 다용도 로딩 및 언로드가 가능한 광전자 장치 등 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능은 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 수용하면서 처리량을 높입니다. 확산 퍼니스에는 강력한 프로그래밍 가능한 클럭 패널 (Clock Panel) 이 장착되어 있어, 사용자에게 주어진 모든 다단계 프로세스에 대해 시간과 온도 프로파일 (Temperature Profile) 컨트롤을 사용자 정의할 수 있습니다. 중앙 탭 머신이 제공되는 깨끗한 Prism 카세트도 있습니다. 이 산업 확산 용광로는 또한 12 분 안에 1200 ° C의 온도에 도달 할 수있는 빠른 난방 도구를 자랑합니다. 또한, 자동화 된 투여 자산은 독특한 초저질소 퍼지 (purge) 와 결합하여 에너지를 절약하고 정확한 온도 제어를 유지합니다. 전체적으로 XT300 확산 퍼니스는 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 모델입니다. 이 기능은 어려운 고온 확산 프로세스에 적합합니다. 직관적인 CO 컨트롤러, 균일 한 온도 설정, 낮은 에너지 소비량 및 다중 쿼츠 감지기 (multiple quartz susceptor) 를 통해 AXCELIS XT300은 확산에 대한 모든 작업을 손쉽게 수행할 수 있습니다.