중고 AXCELIS (확산로 및 액세서리) 판매용
확산로 (diffusion furnace) 는 반도체 제조 산업에서 중요한 구성 요소로, 실리콘 웨이퍼에 도펀트 물질을 증착시키는 것을 포함하는 확산 과정을 촉진합니다. 업계에서 유명한 제조업체인 AXCELIS (AXCELIS: AXCELIS: AXCELIS: AXCELIS: AXCELIS: AXCELIS: AXCELIS: AXCELIS) 는 AXCELIS 확산 로는 확산 과정에서 온도, 압력, 가스 흐름을 정확하게 제어하기 위해 고급 기능으로 설계되었습니다. 이는 균일하고 반복 가능한 결과를 보장하여 고품질 반도체 장치로 이어집니다. 또한 용광로 (furnace) 에는 사용자 친화적 인 인터페이스와 포괄적인 데이터 로깅 (data logging) 기능이 제공되므로 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. AXCELIS 확산의 장점 중 하나는 유연성입니다. 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 프로세스 요구 사항을 충족하도록 구성하여 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 퍼니스는 프로그래밍 가능한 레시피와 프로세스 프로파일을 제공하며, 특정 요구에 따라 사용자 정의 및 최적화를 허용합니다. AXCELIS 확산 로의 한 예는 XT300 (대규모 웨이퍼를 처리할 수 있는 대용량 로페이스) 입니다. 이 제품은 이중 튜브 (Dual-Tube) 구성으로, 서로 다른 두 재료나 다른 프로세스 단계를 동시에 처리하여 생산성 및 효율성을 향상시킵니다. 요약하자면, AXCELIS 확산 용광로 및 액세서리는 고성능, 안정성, 유연성으로 유명합니다. 확산 과정을 정확하게 제어하여 균일하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. XT300은 AXCELIS에서 제공하는 대용량 확산 로의 예입니다.