판매용 중고 ASM UHV-A600 #9144820

ASM UHV-A600은 실험실 결정 성장에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 고급 장비는 정확하고 반복 가능한 데이터를 캡처하면서 안정적이고, 안전하며, 재생성이 뛰어난 epitaxial deposition 프로세스를 위해 설계되었습니다. UHV-A600은 전용 박막 증착 시스템입니다. 바리안 (Varian) 의 터보 분자 펌핑 유닛 (Turbo Molecular Pumping Unit) 을 사용하여 업계에서 가장 높은 펌핑 속도와 가장 낮은 전기 부하를 달성하는 한편 지속적으로 높은 진공을 유지합니다. 이것은 원료 증착률을 최적화하고 최고 품질의 필름을 보장하는 데 도움이됩니다. ASM UHV-A600 (ASM UHV-A600) 은 일반적으로 사용되는 모든 성장 기판 및 분자 빔 에피 택시 소스와 호환되며, 기판 온도를 모니터링하기위한 2D 매핑 어레이가 장착되어 필름 강착을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 높은 처리량을 위해 설계되었습니다. 빠른 응답 요소뿐만 아니라 고급 디자인으로 UHV-A600은 광각 x- 선 회절 분석을 위해 박막 샘플을 더 빠르게 생성 할 수 있습니다. 이 공구에는 가스 라인 인터페이스 (gas line interface) 와 여러 포트가 장착되어 있어 민감한 증착 공정을 위해 산화되지 않고 안정적이고 순수한 환경을 보장합니다. ASM UHV-A600에는 완전 자동 사전 조건실이 포함되어 있습니다. 이 챔버는 필름 증착 전에 표면 오염 물질을 제거하도록 설계되었습니다. 또한, 챔버에는 비활성 가스 정화 자산과 TMP (Turbo Molecular Pumping) 가 장착되어 환경을 더욱 최적화합니다. Varian은 UHV-A600 외에도 모든 증착 과정을 수용하기 위해 여러 가열 요소와 샘플 챔버를 공급합니다. 이러한 요소에는 적외선 (IR) 램프, 저항 가열 요소 및 쿼츠 강화 램프가 포함됩니다. 각각은 필름 증착을 특성화하기 위해 균일 한 가열을 제공합니다. 또한, Advanced UHV Systems는보다 복잡한 성장 환경을 가능하게하는 멀티 존 (multi-zone) 확산 히터를 포함합니다. ASM UHV-A600에는 온도 조절 기판 척 (chuck) 도 포함되어 있으며, 증착 중 기판 위치를 세밀하게 조정하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 척에는 필름 두께를 정확하게 제어 할 수있는 샘플 냉각 단계 (옵션) 가 장착되어 있습니다. UHV-A600에는 고급 계측도 포함되어 있습니다. 여기에는 낮은 소음 스펙트럼으로 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공하는 ABelect 500 전압 공급이 포함됩니다. 이렇게 하면 배치 과정을 정확하게 파악하고 데이터를 정확하게 캡처할 수 있습니다. 모델을 완성하기 위해 ASM UHV-A600에는 진공 관리 장비도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 정밀한 자동 밸브 시퀀싱 (automated valve sequencing) 을 수행하고 빠른 주기 시간을 생성하며 처리 오류를 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한 진공 관리 장치 (vacuum management unit) 에는 기계 작동을 모니터링하기 위한 원격 제어 스테이션이 포함되어 있습니다. UHV-A600은 함께 실험실 결정 성장을위한 고급적이고 다재다능한 확산 로입니다. 정확하고 반복 가능한 데이터를 캡처하면서 안정적이고, 안전하며, 재생성이 뛰어난 epitaxial deposition 프로세스를 위해 설계되었습니다. 고급 계측뿐만 아니라 신뢰할 수있는 도구 설계를 갖춘 ASM UHV-A600 (ASM UHV-A600) 은 박막 증착 프로세스에 완벽한 도구입니다.