중고 ASM (확산로 및 액세서리) 판매용
확산 용광로 (diffusion furnace) 는 반도체 제조 공정에서 중요한 구성 요소로, 실리콘 웨이퍼의 열 처리에 사용되어 다양한 박막 층을 만듭니다. ASM 은 확산 로의 선두 제조업체이며, 다양한 고품질 액세서리 (accessory) 를 제공하여 이러한 퍼니스의 성능과 효율성을 향상시킵니다. ASM의 인기있는 확산 용광로 모델 중 하나는 A 412 (A 412) 로, 우수한 프로세스 결과를 위해 정확한 온도 조절 및 균일성을 제공합니다. 신뢰성과 사용 용이성으로 유명합니다. 다른 모델 인 A 400 (A 400) 은 다양한 웨이퍼 크기와 처리 요구 사항을 수용 할 수 있기 때문에 다재다능성으로 유명합니다. ASM은 또한 고급 열 원자로 인 MIR 3000 (MIR 3000) 을 제공하며, 이 원자로는 빠른 가열 및 냉각 기능과 뛰어난 공정 제어를 결합합니다. 이 모델은 어닐링, 증착 및 산화 과정에 널리 사용됩니다. ASM 확산의 주요 장점 중 하나는 탁월한 온도 균일성으로, 일관되고 안정적인 프로세스 결과를 보장합니다. 이러한 용광로 (furnace) 는 처리량이 높아 생산이 효율적이고 처리 시간이 빠릅니다. ASM은 온도 컨트롤러, 가스 전달 시스템, 웨이퍼 캐리어, 프로세스 모니터링 도구 등 확산 용도의 다양한 액세서리를 제공합니다. 이 액세서리는 확산 로의 성능을 최적화하고 열 처리 (thermal process) 를 정확하게 제어하는 데 도움이 됩니다. 전반적으로, ASM 확산 용광로와 그 액세서리는 신뢰성, 다용도, 우수한 프로세스 결과로 반도체 산업에서 높은 평가를 받고 있습니다.
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