판매용 중고 ASM UHV-A600 #9144030

ASM UHV-A600 확산 로는 고출력, 초고진공 비활성 가스 응용을 위해 설계되었습니다. 이 용광로는 뛰어난 에칭 기능과 정확한 표면 준비 (surface preparation) 를 갖춘 고급 재료를 개발하기 위한 고성능, 다용도, 신뢰할 수 있는 도구입니다. 이 확산 용광로는 최고 1400 ° C의 온도를 제공 할 수있는 고속 벨트 구동 핫 존 히터로 설계되었습니다. 핫 존은 M63 나사가 장착 된 쿼츠 챔버 (quartz chamber) 로 둘러싸여 보호되는 부하 후 환경에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 이 부하 후 환경 (post-load environment) 은 전체 챔버 전체에서 일관되고 균일한 온도 분포를 보장하며, 용광로가 확산 프로파일의 뛰어난 균일성을 얻을 수 있도록 합니다. 석영실 은 또한 외부 공기 로부터의 오염 을 방지 하는 역할 을 한다. 용광로에는 강력한 8.5kW RF 발전기와 핫존 발진기 (hot-zone oscillator) 가 장착되어 있어 용광로 전체 신체의 균일 한 가열을 보장합니다. 직관적 인 터치 스크린 인터페이스는 퍼니스의 설정 및 제어를 통해 운영자를 안내합니다. 제어 장비에는 실시간 데이터 로깅 시스템 (Real Time Data Logging System) 과 데이터를 컴퓨터로 익스포트하여 분석하는 기능도 포함되어 있습니다. UHV-A600 확산 로에는 고급 비활성 가스 제어 시스템도 있습니다. 용광로 는 여러 가지 공정 "응용프로그램 '에" 아르곤', 질소 또는 기타 반응성 있는 "가스 '를 사용 하도록 구성 될 수 있다. 여기에는 표적 물질의 균일 한 확산을 보장하기 위해 가열 된 가스의 유속, 압력, 흐름 제어를 조절하는 것이 포함됩니다. 또한 몇 분 안에 용광로 온도 (furnace temperature) 프로파일을 원하는 매개변수에 맞게 조정할 수 있습니다. ASM UHV-A600 확산 로에는 효율성과 유연성을 극대화하는 다양한 액세서리가 있습니다. 여기에는 가스 분포 매니 폴드, 재순환 펌프, 5 포트 밸브 및 필터, 공기 게이지 및 통풍구 장치가 포함됩니다. 가스 매니 폴드 (Gas Manifold) 는 용광로에 균일 한 가스 공급을 보장하며 고출력 응용을 지원하기 위해 강력한 모터로 구동됩니다. 재순환 펌프는 용광로 내의 가스를 순환시켜 핫 존 (hot-zone) 에서 균일 한 온도 분포를 제공합니다. 마지막으로, 벤트 머신 (Vent Machine) 은 핫 존에서 가스를 대피시키고 용광로 내에서 높은 수준의 청결을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 최상위 확산 광로 (top-of-the-line diffusion furnace) 는 사용자에게 탁월한 성능과 안정성을 제공하며, 광범위한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 첨단 난방 기능과 비활성 가스 제어 시스템 (Inert Gas Control System) 을 갖춘 UHV-A600 확산 퍼니스는 고급 제조 공정의 요구를 충족시키는 완벽한 솔루션입니다.