판매용 중고 ASM SP 32 #293758590
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ASM SP 32는 고급 재료 처리를 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 반도체, 의료 및 항공 우주와 같은 산업에 이상적입니다. 다양한 응용 프로그램의 복잡한 고정밀 재료 처리를 허용하도록 설계되었습니다. SP 32 는 최고 1000 ° C 의 온도와 높은 정확도, 안정성을 제공하는 고급 세라믹 열 교환기를 기반으로 합니다. 가스 타이트 캐빈은 일체형 스테인레스 스틸 인클로저로 둘러싸여 있으며 비활성 가스 입구 (inert gas inlet), 질소 환경 제어 (nitrogen environment control) 및 안전 장비를 포함합니다. 이 용광로에는 빠른 열화를 위해 고주파 난방 (high-frequency heating) 과 내성 난방 (resistance heating) 을 모두 갖춘 강력한 난방 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 공정 제어를 위해 선택적 압력 게이지를 사용하여 열전대 제어 온도 조절 및 디지털 프로세스 모니터링을 제공합니다. ASM SP 32는 효율적이고 정확한 샘플 처리를 위한 다양한 도구를 제공합니다. 깨끗한 제품을 가능하게하는 독특한 산소 청소기 디자인이 장착되어 있습니다. 이 장치는 빠른 로드/언로드 자동화, 확장 가능한 처리량, 정확한 온도 조절을 통해 단일 웨이퍼 (single wafer) 및 배치 처리 (batch processing) 를 모두 수용할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 빠르고 정확한 샘플 처리를 위한 로봇 암 (robotic arm) 과 정확한 샘플을 배치하고 처리하기위한 조작 장치 (manipulator unit) 가 포함되어 있습니다. 또한 SP 32 는 고급 보안 머신이 장착된 조임, 폐쇄 처리 환경을 갖추고 있습니다. 이 도구는 제어 된 대기 조건과 낮은 배경 복사 수준 (gas and vapor detector) 을 보장합니다. 또한 비활성 가스 환경을위한 가스 펌프 컨트롤러, 충격 방지 자산 및 질소 대기 제어 (anti-shock asset) 가 포함되어 있습니다. 전반적으로 ASM SP 32는 정확한 온도 조절, 처리량 확장성, 긴밀하고 폐쇄적인 처리 환경 (tight/closed processing environment) 을 갖춘 재료를 정교하게 처리합니다. 다양한 툴을 통해 효율적이고 정확한 샘플 처리를 보장합니다. 이 장치는 반도체, 의료 및 항공 우주와 같은 산업에서 사용하기에 이상적이며, 유전체 장치 증착, 나노 튜브 성장 및 기타 재료 처리 응용 프로그램 (displetic device deposition, nanotube growth 및 other material processing application) 에 적합합니다.
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