판매용 중고 ASM MIR 3000 #9358637

ASM MIR 3000은 반도체 제작 프로세스에 사용하기 위해 ASM International에서 설계 한 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 시스템은 단일 챔버 용광로 및 컨트롤러, 가스 믹서, 밸브, 가스 피팅, 매니 폴드 및 파이핑, 열전대 및 온도 게이지/컨트롤러로 구성됩니다. MIR 3000의 메인 챔버 (main chamber) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만든 수직 실린더이며 흑연 서셉터가 장착되어 있습니다. "서셉터 '는 처리 중 에" 웨이퍼' 를 고정 시키고 열 을 표면 에 균등 하게 분배 하도록 설계 되었다. 용광로 챔버 내부에는 흑연 담요 (graphite blanket) 가 늘어서 열절을 보장합니다. 가열 요소는 서셉터 아래에 있으며 PLC (Programmable Logic Controller) 를 통해 챔버의 온도를 제어합니다. 가열 요소는 용광로 챔버 내에서 균일 한 온도를 생성합니다. 가스 혼합물은 가스 믹서, 밸브, 가스 피팅, 매니 폴드 및 파이핑을 통해 챔버로 전달됩니다. 가스 흐름은 대량 흐름 컨트롤러 (mass-flow controller) 에 의해 조절되며, 이를 통해 가스 조성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. "가스 '혼합물 은 여러 개 의" 가스' 입구 를 통하여 약실 에 도입 되는데, 이것 은 "매니폴드 '와 배관 에 연결 된다. 온도 코플과 온도 게이지/컨트롤러를 사용하여 온도를 모니터링하고 제어합니다. 열전대 는 "챔버 '에 삽입 되어 약실 전체 의 온도 수준 을 감지 한다. 온도 게이지/컨트롤러 (temperature gauge/controller) 는 챔버의 온도 범위를 설정하고 조정하는 데 사용됩니다. ASM MIR 3000은 열 산화, 질화, 산화물 증착, 도체 도핑 등 광범위한 확산 프로세스에 적합합니다. 이 시스템은 정확한 온도 조절, 챔버 전체에 균일 한 온도 프로파일, 이상적인 확산 조건에 대한 정확한 가스 혼합 (gas mixing) 을 제공합니다. 이 시스템은 프로그래밍이 용이하고, 안전하고, 안정적이며, 다양한 어플리케이션에 사용할 수 있습니다.