판매용 중고 ASM MIR 3000 #9351346

ASM MIR 3000
ID: 9351346
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000 (ASM MIR 3000) 은 여러 업종의 열 공정 요구를 충족할 수 있는 내구성과 고급 퍼니스 (furnace) 솔루션을 제공하기 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. MIR 3000 시스템은 optoelectronic 장치 제작, CMP 벤치마킹, 고급 장치 포장, 박막 증착, epitaxial 성장 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 및 관련 액세서리에는 완전 자동 프로세스 컨트롤러 (Fully Automated Process Controller) 가 제공되어 각 제조 공정이 궤도에 유지됩니다. 이 프로세스 컨트롤러는 최대 8 개의 변수로 최대 4 개의 독립 프로세스를 제어 할 수 있으며, 이는 여러 산업 애플리케이션을 위한 다용도 도구입니다. 이 장치는 대용량 및 신뢰성 있는 전기 머신으로 구동되며, 과열 보호 (over-temper protection), 과압 릴리프 밸브 (over-pressure relief valv), 전원 장애 안전 (power fail safety) 과 같은 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 또한, 용광로 및 부속 액세서리 도구는 UL, CSA 및 NFPA 79와 같은 가장 어려운 업계 안전 승인을 충족합니다. ASM MIR 3000 자산은 고급 열 공정 제어 옵션, 정교한 제어 소프트웨어 패키지, 챔버 전체의 열 에너지 확산 가속화 (flat-plate design) 를 특징으로합니다. 또한, 이 모델은 전체 챔버에 균일 한 열 분배를 보장하는 고급 열 계층 프로파일 링 장비를 자랑합니다. 이 챔버는 처리량이 많은 작업을 위해 사용하기 쉬운 연속 벨트 설계를 갖추고 있습니다. 옵션 디지털 벨트 드라이브 (digital belt drive system) 를 사용하여 벨트 속도를 정확하게 제어할 수 있으므로 온도가 일관되게 유지됩니다. 또한, 이 장치에는 긴 냉각 시간을 제거하는 고급 챔버 냉각 기술 (Advanced Chamber Cooling Technology) 이 제공됩니다. 전반적으로, MIR 3000 확산 로나 액세서리 머신 (accessory machine) 은 다수의 열 프로세스 어플리케이션을 위한 강력하고 안정적인 도구입니다. 고급 프로세스 컨트롤러, 향상된 안전 기능, 고급 열 처리 도구 (Advanced Thermal Processing Tool) 를 갖춘 이 자산은 강력하고 안정적인 열 처리 솔루션을 제공합니다.
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